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操作篇 5. 手动操作 SI-F130AI 5-21 (1) 絕對座標移動 ( 绝对坐标移 动 ) （ 轨道宽度） 軌道寬度絕對位 置 ( ) , ST AR T 轨道移动 中，按操作面板的 ST OP 钮时，立即 停止。再次按 ST ART 钮时，再 开始移动至目 标位置。 但是，…
操作篇
5. 手动操作
5-20
SI-F130AI
5.2.1.7
轨道宽度调整
手動操作 ( ) 基板搬送 ( )
軌道寬度調整 ( ) 軌道寬度調整 ( ) 1
图
5.2.1.7-1
軌道寬度調整
(
轨道宽度调整
)
画面
ORG
在执行轨道宽度调整操作的前，有时轨道宽度必须回复到原点位置。
軌道寬度調整 ( ) 移動模式 ( ) 絕對座標移動
(
) 相對座標移動 ( ) 微調動作移動 ( )
·所谓
絕對座標移動
(
绝对坐标移动
)
是将轨道的基准点设为原点，由原点移动至表示的目标
宽度
,
现在位置无论在何处，都可移动至目标的宽度。
·所谓
相對座標移動
(
相对坐标移动
)
是将现在的宽度设为起点，只移动指定的值。即使相同
移动值，若改变现在的宽度时，所得到轨道的宽度也不相同。
·所谓
微調動作移動
(
微调动作移动
)
是使用游标执行移动
,
按游标并立即放开时会立即微
动，连续按时
,
则连续移动。
·
軌道寬度絕對位置
(
轨道宽度绝对位置
)
的本文框中，只能输入数值，无法变更轨道宽度。
依下列步骤按
START
钮，执行轨道移动。
( 2)
基板搬送 ( )
基板搬送 ( )
注意 :
注意 :
2
1
操作篇
5. 手动操作
SI-F130AI
5-21
(1) 絕對座標移動 ( 绝对坐标移动 ) （轨道宽度）
軌道寬度絕對位置 ( ) ,
START
轨道移动中，按操作面板的
STOP
钮时，立即停止。再次按
START
钮时，再开始移动至目
标位置。但是，使用手动控制器移动轴时，按
STOP
键停止移动后，若不再次设定目标位置，
则即使按
START
钮亦不移动，故需要注意。
(2) 相對座標移動 ( 相对坐标移动 ) （轨道宽度）
START
(+) (-)
轨道移动中，按操作面板的
STOP
钮时，立即停止。再次按
START
钮时，再开始移动至目
标位置。
注意 :
注意 :
操作篇
5. 手动操作
5-22
SI-F130AI
(3)
微調動作移動 ( 微调动作移动 ) （轨道宽度）
軌道寬度調整 ( )
图
5.2.1.7-2
軌道寬度調整
(
轨道宽度调整
)
画面
[1] 指定移动速度。
2
1 SHIFT
2 高速 ( ) 低速 ( )
高速 ( ) / 低速 ( )
前门或后门中任一门打开
或互锁开关关闭时
,
为了安全
,
无法选择
高速
(
高速
)
。
[2] 按键盘的游标 （ ↑ ↓ ）
提示
1 ( )
注意 :