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操作篇 5. 手动操作 5-26 SI-F130AI [1] 指定移 动速度。 2 1 SHI FT 2 高速 ( ) 低速 ( ) 高速 ( ) / 低速 ( ) 前门或后门中 任一个门打开，时或 者互锁开关关闭时， 为了安…
操作篇
5. 手动操作
SI-F130AI
5-25
(1) 絕對座標移動 ( 绝对坐标移动 ) （排出器）
排出器絕對位置 ( )
START
·在移动排出器中，如果按操作面板的
STOP
钮，立即停止。如果再次按
START
钮，就再次开
始移动到目标位置。但是，使用手动控制器移动轴时，按
STOP
键停止移动后，若不再次设定
目标位置，即使按下
START
，亦不移动排出器，故需要注意。
(2) 相對座標移動 ( 相对坐标移动 ) （排出器）
START
·在排出器移动中，如果按操作面板的
STOP
钮，立即停止。如果再次按
START
钮，就再次
开始移动至目标位置。
(3) 微調動作移動 ( 微调动作移动 ) （排出器）
排出器移動 ( )
图
5.2.1.9-2
排出器移動
(
排出器移动
)
画面
注意 :
注意 :
操作篇
5. 手动操作
5-26
SI-F130AI
[1] 指定移动速度。
2
1 SHIFT
2 高速 ( ) 低速 ( )
高速 ( ) / 低速 ( )
前门或后门中任一个门打开，时或者互锁开关关闭时，为了安全，不能选择
高速
(
高速
)
。
[2] 请按键盘的游标键 （ ← → ）
→
提示
5.2.1.10 排出器的操作 （上升 / 下降）
使排出器针上升时
排出器上昇 ( )
使排出器针下降时
排出器下降 ( )
提示
注意 :
操作篇
5. 手动操作
SI-F130AI
5-27
5.2.2 基板操作
( )
5.2.2.1 基板定位操作
[ 概要 ]
( )
:
:
[ 操作顺序 ]
手動操作 ( ) 基板搬送 ( ) 基板搬送
(
)
图
5.2.2.1
手動操作－ 基板搬送
(
手动操作－ 基板搬送
)
操作
基板定位时
基板操作 ( ) 位置設定 ( )
解除基板定位时
基板操作 ( ) 解除 ( )