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调试篇 2. 电气系统 的连接 SI-F130AI 2-5 (3) SI-F 130AI 后面右侧连接部分 SUPP LIED AI R SI-F130AI 0.49 MPa (5kgf/ cm 2 ) V A CUUM PUMP SI-F130AI CASSETT E I/F …
调试篇
2. 电气系统的连接
2-4
SI-F130AI
(2) SI-F130AI
前面左侧连接部分
AIR
SI-F130AI 0.49MPa (5kgf/cm
2
)
6mm
EX.EMG
NC B SI-F130AI
EMG-L
( ) SI-F130AI EMG-R
I/L
SI-F130AI
I/F-L
SI-F130AI SMEMA
H.M
LAN-2
( ) 10Base-2 LAN SI-F130AI
LAN-T
AIR
I/L
EMG-L
EX.EMG
I/F-L
H.M
LAN-2
调试篇
2. 电气系统的连接
SI-F130AI
2-5
(3) SI-F130AI 后面右侧连接部分
SUPPLIED AIR
SI-F130AI 0.49 MPa (5kgf/
cm
2
)
VACUUM PUMP
SI-F130AI
CASSETTE I/F
32mm
CASSETTE AIR
32mm
CASSETTE I/F
CASSETTE AIR
VACUUM PUMP
SUPPLIED AIR
调试篇
2. 电气系统的连接
2-6
SI-F130AI
2.3 与前工程和后工程的信号线缆连接
[ 作业功能 ]
为了使前后工程的机器与基板接收时间相吻合，在彼此之间连接了信号线缆。
[ 准备的物品 ]
与前工程连接用线缆 ( 选配 ) ：根据下述 4 点选择线缆。
与后工程连接用线缆
( 选配 ) ：根据下述 4 点选择线缆。
[ 连接的连接器规格 ]
(1)
与前工程连接的连接器规格
连接器规格：
AMP.206043-1(14 极 )
(2)
与后工程连接的连接器规格
连接器规格：
AMP.206043-1(14 极 )
在
SI-F130AI
一侧使用
AMP.14
极插座
(
型号：
206043-1)。
本体侧 前工程侧 线缆长
1
SMEMA 规格 AMP(14P) 插头 SMEMA 规格 AMP(14P) 插头
0.35m
2
同上 同上
1m 或者 3m
3
同上
MOLEX(4P) 插头 3m
4
同上
< 顾客规格 >
顾客指定
本体侧 后工程侧 线缆长
1
SMEMA 规格 AMP(14P) 插头 SMEMA 规格 AMP(14P) 插头
0.35m
2
同上 同上
1m 或者 3m
3
同上
MOLEX(4P) 插头 3m
4
同上
< 顾客规格 >
顾客指定
针号码 信号名称 信号方向
1
2
3
4
8
REQUEST(+)
REQUEST(-)
READY
G24
SHIELD
SI-F130AI 前工程装置
SI-F130AI 前工程装置
SI-F130AI 前工程装置
SI-F130AI 前工程装置
针号码 信号名称 信号方向
1
2
3
4
8
READY
G24
REQUEST(+)
REQUEST(-)
SHIELD
SI-F130AI 后工程装置
SI-F130AI 后工程装置
SI-F130AI 后工程装置
SI-F130AI 后工程装置
注意 :