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保养篇 2. 维修检查 2-10 SI-F130AI 每周 (2) 输送带导向器的基板 摩擦面检查 [ 作业功能 ] 基板搬送的导向器 面上如果附着焊剂等 异物，就会妨碍基板 搬送的顺利进行。需 要定期进行检 查·清理。 [ 维修检查位置 ] 搬入侧·搬出侧基 板搬送输送带部分的 搬送导轨的基板行进 面 [ 维修检查时要 准备的物品 ] 干净抹布 [ 作业顺序 ] 检查搬入侧·搬出 侧基板搬送输送带部 分的搬送导轨的基板 行进面是否附着…
保养篇
2. 维修检查
SI-F130AI
2-9
[ 作业顺序 ]
检查搬入侧·搬出侧基板搬送输送带部分的皮带 (8 根 ) 张力和磨损状况·有无裂隙。如果磨损
严重或者有裂隙，更 换皮带。
名称 产品编码
1
装着 C/V 驱动正时皮带 ( 移动侧 ) 正时皮带 (642-1.5GT-2.5)
2
装着 C/V 驱动正时皮带 ( 固定侧 ) 正时皮带 (562.5-1.5GT-2.5)
3
搬出、搬入 C/V 皮带× 4 ( 移动、固定侧 ) 平型皮带 SEB-AKCA-2.2 × 830
4
装着 C/V 皮带× 2 ( 移动、固定侧 ) 平型皮带 SEB-AKCA-2.2 × 1016
保养篇
2. 维修检查
2-10
SI-F130AI
每周
(2) 输送带导向器的基板摩擦面检查
[ 作业功能 ]
基板搬送的导向器面上如果附着焊剂等异物，就会妨碍基板搬送的顺利进行。需要定期进行检
查·清理。
[ 维修检查位置 ]
搬入侧·搬出侧基板搬送输送带部分的搬送导轨的基板行进面
[ 维修检查时要准备的物品 ]
干净抹布
[
作业顺序 ]
检查搬入侧·搬出侧基板搬送输送带部分的搬送导轨的基板行进面是否附着有焊剂等异物。根据
需要进行清理。
基板行进面
搬送导轨
基板
保养篇
2. 维修检查
SI-F130AI
2-11
每周
(3) 各传感器投受光面的清理
[ 作业功能 ]
基板搬送输送带由于常与基板发生摩擦从而产生灰尘。所以要定期清理光学传感器。
[ 维修检查位置 ]
基板搬送输送带上根据用途不同带有 8 个基板检出传感器。
需要对各传感器投受光面进行清理。
[ 维修检查时要准备的物品 ]
干净抹布
[ 作业顺序 ]
用干净抹布对各传感器投受光面上附着的灰尘、脏物进行清理。
右流向规格 左流向规格
1
基板搬出传感器 基板搬入传感器
2
基板减速传感器 －
3
基板通过确认传感器 基板待机传感器
4
基板确认传感器 基板确认传感器
5
基板有无传感器 基板有无传感器
6
基板待机传感器 基板通过确认传感器
7
－ 基板减速传感器
8
基板搬入传感器 基板搬出传感器
右流向
前面侧
左流向