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保养篇 2. 维修检查 2-12 SI-F130AI 每周 (4) 基板搬送输送带的搬 送皮带滑轮的检查 [ 作业功能 ] 输送带的搬送皮带 滑轮的旋转如果不顺 畅，就会对搬送皮带 造成异常磨损。由于 需要滑轮旋转顺 畅，所以定期对皮 带滑轮进行检查。 [ 维修检查位置 ] 搬入侧·搬出侧输 送带的搬送皮带滑轮 ( 总计 17 个 ) [ 维修检查时要准备的 物品 ] 润滑油： 多用润滑油 ( 美国 Wy n n O i l C o m…
保养篇
2. 维修检查
SI-F130AI
2-11
每周
(3) 各传感器投受光面的清理
[ 作业功能 ]
基板搬送输送带由于常与基板发生摩擦从而产生灰尘。所以要定期清理光学传感器。
[ 维修检查位置 ]
基板搬送输送带上根据用途不同带有 8 个基板检出传感器。
需要对各传感器投受光面进行清理。
[ 维修检查时要准备的物品 ]
干净抹布
[ 作业顺序 ]
用干净抹布对各传感器投受光面上附着的灰尘、脏物进行清理。
右流向规格 左流向规格
1
基板搬出传感器 基板搬入传感器
2
基板减速传感器 －
3
基板通过确认传感器 基板待机传感器
4
基板确认传感器 基板确认传感器
5
基板有无传感器 基板有无传感器
6
基板待机传感器 基板通过确认传感器
7
－ 基板减速传感器
8
基板搬入传感器 基板搬出传感器
右流向
前面侧
左流向
保养篇
2. 维修检查
2-12
SI-F130AI
每周
(4) 基板搬送输送带的搬送皮带滑轮的检查
[ 作业功能 ]
输送带的搬送皮带滑轮的旋转如果不顺畅，就会对搬送皮带造成异常磨损。由于需要滑轮旋转顺
畅，所以定期对皮带滑轮进行检查。
[ 维修检查位置 ]
搬入侧·搬出侧输送带的搬送皮带滑轮 ( 总计 17 个 )
[
维修检查时要准备的物品 ]
润滑油： 多用润滑油 ( 美国 Wynn Oil Company 制 ) 、干净抹布
[ 作业顺序 ]
驱动搬入侧·搬出侧输送带，在搬送皮带旋转时确认滑轮是否旋转顺畅。
如果旋转不顺畅，用润滑油对轴承进行润滑。此时，请注意不要让多余润滑油滴到机械内。如果
润滑油滴到机械内，立即用干净抹布擦除。
用润滑油进行润滑之后，旋转如果仍然不顺畅，请进行更换。
皮带滑轮 ( 可动部 )
用润滑油进行润滑
滑轮
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2. 维修检查
SI-F130AI
2-13
每周
(5) 零件相机
·
吸着检查相机的镜面清理
[ 作业功能 ]
搭载零件相机·吸着检查相机用来识别吸着的零件。特别是零件相机的镜面朝上，所以需要进行
定期清理。
[ 维修检查位置 ]
零件相机镜面
[ 维修检查时要准备的物品 ]
相机用清理气枪
[ 作业顺序 ]
用清理空气喷枪去除零件相机镜面上的灰尘。
镜面部位污垢比较严重时
请将
Asahi Clean AK225AES (Asahi Glass 制 ) 80% 和异丙醇 20% 的混合溶液 ( 请在
客户侧准备
) 或者乙醇沾在棉棒上轻轻擦拭镜面。 ( 请注意不要在镜面上留下污渍 ) 。以下
是操作顺序。
LED
周围有带状线缆缠绕。
在清理镜面时注意一定不要对带状线缆用力。
吸着检查相机
零件相机
镜面
注意 :