SI-F130AI_1st_CS.pdf.pdf - 第597页
手动控制器篇
调试篇
3. 空气源的连接和真空泵的运转
3-2
SI-F130AI
3.2 真空泵的运转
[ 操作功能 ]
SI-F130AI
[ 操作顺序 ]
1.
/
SI-F130AI
2. SI-F130AI
SI-F130AI
SI-F130AI
3.
SI-F130AI
/
SI-F130AI VACUUM PUMP
0.077MPa (60cmHg=0.79Kgf/cm
2
)
手动控制器篇