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HDF 服务手册 4.1 调整确认项目一览表 D45SCC-W 0-010-A0 4.1-2 No. 检查项目 检查项目 检查项目 检查项目 确认 确认 确认 确认 气压 运转中的安定度 压力开关 0.39MPa (4k gf/cm 2 ) 主调节表 过滤器的堵塞、轧辊内的沉淀物 2 气压控制部 配管 各部分的磨损、损伤、连接部的松动 3 基准销 位置精度 在手动 NC 移动中 移动 Y 轴到 7.5 mm 处 7.5 ± 0.1 m …
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4.1 调整确认项目一览表
4.1-1 D45SCC-W0-010-A0
4.1 调整确认项目一览表
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调整确认项目一览表
Sentence No. D45SCC-W0-010-A0
No.
检查项目
检查项目检查项目
检查项目 确认
确认确认
确认
AC 100V
变压器盒 电源电压
AC 200V
连接器松弛
+5.00 ~ +5.25V
+12.00 ~+12.60V
-12.00 ~-12.60V
+15.00 ~+15.75V
P783
主控制器
电压
-15.00 ~-15.75V
AC 伺服驱动器 连接器松弛
5V 电源
4.9 ~5.3V
24V 电源
24.3 ~24.7V
电压
(100VL-GND)
0 ~1V
配电盘
电压
(100VH-GND)
95 ~110V
电机 正常旋转
冷却风扇
过滤器 堵塞、污垢
1
电气控制部
MMI
连接器松弛
主气压调节表
0.5MPa (5kgf/cm
2
)
气压下降调节表
0.4MPa (4kgf/cm
2
)
2
气压控制部
支撑台上下调节表
气压
0.5MPa (5kgf/cm
2
)
HDF
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4.1 调整确认项目一览表
D45SCC-W0-010-A0 4.1-2
No.
检查项目
检查项目检查项目
检查项目 确认
确认确认
确认
气压 运转中的安定度
压力开关
0.39MPa (4kgf/cm
2
)
主调节表
过滤器的堵塞、轧辊内的沉淀物
2
气压控制部
配管 各部分的磨损、损伤、连接部的松动
3
基准销 位置精度
在手动NC移动中
移动 Y 轴到7.5
mm 处
7.5 ±0.1 mm
4
基板下面尺寸 间隙
在XY工作台平面
度·直角度治具
下面和支撑销之
间的间隙
30 mm 以上
平行度 固定导轨 0.1 mm以内
平面度
基板支架
(最大宽度时、测
定为9磅)
0.1 mm以内
高度
皮带上面和支撑
台
32 ±0.15 mm
5
Y 工作台
导轨宽度调整 旋转转矩
8.8N • cm以下
(0.9 kgf • cm以下)
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4.1 调整确认项目一览表
4.1-3 D45SCC-W0-010-A0
No.
检查项目
检查项目检查项目
检查项目 确认
确认确认
确认
搬送皮带的张力
搬送皮带的磨损、清扫
左侧Y工作台和导
轨 的间隙
5 ±0.5 mm
上载导轨
左侧Y工作台和上
载导轨皮带的级
差
+0.2 ~0 mm
搬送皮带的张力
搬送皮带的磨损、清扫
在右侧Y工作台和
下载导轨之间的
导轨间隙
5 ±0.5 mm
6
基板搬送
下载导轨
在右侧Y工作台和
下载导轨皮带的
级差
0 ~-0.1 mm
张力
45.1 ±4.9 N
(4.6 ±0.5 kgf)
θ轴
皮带的磨损、清扫
张力
29.4 ± 9.8 N
(3.0 ±1.0 kgf)
导轨宽度调整
皮带的磨损、清扫
张力
29.4 ± 9.8 N
(3.0 ±1.0 kgf)
7
同步皮带
导轨自动宽度调整
皮带的磨损、清扫