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HDF 服务手册 4.1 调整确认项目一览表 4.1-3 D45SCC-W 0-010-A0 No. 检查项目 检查项目 检查项目 检查项目 确认 确认 确认 确认 搬送皮带的张力 搬送皮带的磨损、清扫 左侧 Y 工作台和导 轨 的间隙 5 ± 0.5 m m 上载导轨 左侧 Y 工作台和上 载导轨 皮带的级 差 +0.2 ~0 mm 搬送皮带的张力 搬送皮带的磨损、清扫 在右侧 Y 工作台和 下载导 轨之间的 导轨间隙 5 ± 0.5…

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HDF
服务手册
4.1 调整确认项目一览表
D45SCC-W0-010-A0 4.1-2
No.
检查项目
检查项目检查项目
检查项目 确认
确认确认
确认
气压 运转中的安定度
压力开关
0.39MPa (4kgf/cm
2
)
主调节表
过滤器的堵塞、轧辊内的沉淀物
2
气压控制部
配管 各部分的磨损、损伤、连接部的松动
3
基准销 位置精度
在手动NC移动中
移动 Y 轴到7.5
mm
7.5 ±0.1 mm
4
基板下面尺寸 间隙
XY工作台平面
度·直角度治具
下面和支撑销之
间的间隙
30 mm 以上
平行度 固定导轨 0.1 mm以内
平面度
基板支架
(最大宽度时、测
定为9)
0.1 mm以内
高度
皮带上面和支撑
32 ±0.15 mm
5
Y 工作台
导轨宽度调整 旋转转矩
8.8N • cm以下
(0.9 kgf • cm以下)
HDF
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4.1 调整确认项目一览表
4.1-3 D45SCC-W0-010-A0
No.
检查项目
检查项目检查项目
检查项目 确认
确认确认
确认
搬送皮带的张力
搬送皮带的磨损、清扫
左侧Y工作台和导
的间隙
5 ±0.5 mm
上载导轨
左侧Y工作台和上
载导轨皮带的级
+0.2 ~0 mm
搬送皮带的张力
搬送皮带的磨损、清扫
在右侧Y工作台和
下载导轨之间的
导轨间隙
5 ±0.5 mm
6
基板搬送
下载导轨
在右侧Y工作台和
下载导轨皮带的
级差
0 ~-0.1 mm
张力
45.1 ±4.9 N
(4.6 ±0.5 kgf)
θ轴
皮带的磨损、清扫
张力
29.4 ± 9.8 N
(3.0 ±1.0 kgf)
导轨宽度调整
皮带的磨损、清扫
张力
29.4 ± 9.8 N
(3.0 ±1.0 kgf)
7
同步皮带
导轨自动宽度调整
皮带的磨损、清扫
HDF
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4.1 调整确认项目一览表
D45SCC-W0-010-A0 4.1-4
No.
检查项目
检查项目检查项目
检查项目 确认
确认确认
确认
偏心度
喷嘴部尖端 0.05 mm以内
X 方向 0.1 mm以下
平行度
Y方向 0.8 mm 以下
8
点胶头部
高度
喷嘴尖端和XY
作台平面度·直
角度治具
13.00 ~13.05 mm
高度
XY工作台平面
度、直角度治具
上面为基准
-0.25 ~-0.30 mm
9
试打部表面
平面度
试打部
表面
0.02 mm以内
X
49.0 ~78.5 N
(5.0 ~8.0kgf)
10
X, Y
ROBOT
滑行移动力
Y
88.3 N 以下
(9 kgf 以下)
11
M 尺寸 XL 尺寸
11
X 极限
(±1.0 mm)
+374.0 mm
-289.0 mm
+319.0 mm
-399.0 mm
X
安全 极限
(±1.0 mm)
+378.0 mm
-293.0 mm
+323.0 mm
-403.0 mm
Y 极限
(±1.0 mm)
+201.0 mm
-113.0 mm
+258.0 mm
-245.0 mm
Y
安全 极限
(±1.0 mm)
+207.0 mm
-119.0 mm
+261.0 mm
-248.0 mm
H 1st 极限
(±0.05 mm)
+14.00 mm
-3.00 mm
11
极限
θ 1st 极限
(±1°)
+93.5
-93.5
VS 喷嘴 ±0.03 mm
S 喷嘴 ±0.03 mm
12
点胶精度
十字形点胶
(0°方向 90°方
)
L 喷嘴 ±0.1 mm