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HDF 服务手册 4.7 搬送作业部 D45SCC-W 3-200-A0 4.7-2 4.7.2 Y 工作台导轨平面度调整 工作台导轨平面度调整 工作台导轨平面度调整 工作台导轨平面度调整 Unit No. Y 工作台 导轨 平面度 调 整 4.7.1 Y 工作台 导轨 高度 调 整 = 准备 准备 准备 准备 = 1. 百分表 2. 磁性表架 3. 最大基板 4. 最小基板 ► Y 工作台导轨平面度调整 工作台导轨平面度调整 工作台导…
HDF
服务手册
4.7 搬送作业部
4.7-1 D45SCC-W3-200-A0
4.7 搬送作业部
搬送作业部搬送作业部
搬送作业部
Sentence No. D45SCC-W3-200-A0
4.7.1 Y 工作台导轨高度调整
工作台导轨高度调整工作台导轨高度调整
工作台导轨高度调整
Unit No.
Y
工作台导轨高度调整
4.7.2 Y
工作台导轨
平面
度调整
=准备
准备准备
准备=
1. 百分表
2. 磁性表架
3. 块规(235.0 mm)
►Y工作台导轨宽度调整
工作台导轨宽度调整工作台导轨宽度调整
工作台导轨宽度调整
1. 打开电源，返回原点。
2. 确认将副操作盘上的 “SUPPORT UP”
（支撑台上升）置于 [OFF]。
=确认
确认确认
确认=
确认支撑台处于下降状态。
3. 将块规安装到(235.0 mm)底盘上。
4. 将磁性表架安装到头组件上，使百分表尖端与块
规上面相接触。
5. 将百分表设定为0（基准）。
6. 移动百分表，使其位于导轨的A位置处。
7. 确认导轨高度。
8. 用同样的方法确认B、C 、D位置处的导轨高度。
=规格值
规格值规格值
规格值=
导轨高度: 235.0±0.1 mm
9. 如在规格值以外，拧松调整螺栓，上下移动部件，
调整。
=确认
确认确认
确认=
前后左右共有 4个部件。
10. 拧紧调整螺栓。
11. 确认导轨高度。
A
B
C
D
(
导轨部平面图
)
235.0 mm
(Y
工作台正面图
)
聚氨脂橡胶
程序块
Y
工作台正面
图
调整螺栓
HDF
服务手册
4.7 搬送作业部
D45SCC-W3-200-A0 4.7-2
4.7.2 Y 工作台导轨平面度调整
工作台导轨平面度调整工作台导轨平面度调整
工作台导轨平面度调整
Unit No.
Y
工作台导轨平面度调整
4.7.1
Y
工作台导轨
高度
调整
=准备
准备准备
准备=
1. 百分表
2. 磁性表架
3. 最大基板
4. 最小基板
►Y工作台导轨平面度调整
工作台导轨平面度调整工作台导轨平面度调整
工作台导轨平面度调整
1. 打开电源，返回原点。
2. 使Y工作台自动宽度调整返回原点。
3. 将最大基板安装到Y工作台导轨上。
4. 将副操作盘上的 “SUPPORT UP”
（支撑台上升）置于 [ON]。
5. 将磁性表架安装到头组件上，使百分表与最
大基板A位置相接触。
6. 将百分表设定为0（基准）。
7. 移动百分表，使其位于导轨的A ~ J位置处。
8. 确认平面度。
=规格值
规格值规格值
规格值=
平面度:在±0.1 mm以内
9. 如在规格值以外，拧松螺栓（8个），调整。
10. 拧紧螺栓。
11. 将副操作盘上的 “SUPPORT UP”
（支撑台上升）置于 [OFF]。
12. 移动可动导轨，使其宽度与最小基板宽度
相同。
13. 将最小基板安装到Y工作台上。
14. 将副操作盘上的 “SUPPORT UP”
（支撑台上升）置于 [ON]。
15. 再次确认平面度。
16. 如在规格值以外，从头再做一遍。
J I H G F
E C B D
A
最大基板
固定
导轨
可
动侧导轨
百分表
Bolts
螺栓
HDF
服务手册
4.7 搬送作业部
4.7-3 D45SCC-W3-200-A0
4.7.3 Y 工作台导轨平行度调整
工作台导轨平行度调整工作台导轨平行度调整
工作台导轨平行度调整
Unit No. 1048304000
Y
工作台导轨平行度调整
=准备
准备准备
准备=
1. 百分表
2. 磁性表架
►Y工作台导轨平行度调整
工作台导轨平行度调整工作台导轨平行度调整
工作台导轨平行度调整
1. 打开电源，返回原点。
2. 拆下导轨上盖。
3. 使Y工作台自动宽度调整返回原点。
4. 将磁性表架安装到头组件上，使百分表与A位
置相接触。
5. 将百分表设定为0（基准）。
6. 移动百分表，使其位于B ~ E 位置处。
7. 确认固定导轨的平行度。
=规格值
规格值规格值
规格值=
平行度: 在0.1 mm以内
=提示
提示提示
提示=
不能调整固定导轨的平行度。
8. 使百分表与F位置相接触。
9. 将百分表设定为0（基准）。
10. 移动百分表，使其位于G ~ J 位置处。
11. 确认可动导轨的平行度。
=规格值
规格值规格值
规格值=
平行度: 在0.1 mm以内
12. 如在规格值以外，拧松右侧螺杆轴的皮带轮
固定螺丝。
=提示
提示提示
提示=
如是最大导轨，因为不能拧松固定螺丝
（2个），所以请缩小导轨宽度，然后
再进行作业。
13. 用手指夹住同步皮带，手动旋转螺杆轴，调
整平行度。
14. 拧紧右侧螺杆轴皮带轮的固定螺丝。
右侧螺杆轴
螺杆轴皮带轮
同步皮带
用手指夹住皮带位置
导轨宽度
:
M
尺寸
:
最大
250 mm
XL
尺寸
:
最大
. 410 mm
J
I
H
G
F
可动侧导轨
百分表
0
(
基准
)
E D C B
A
固定侧导轨