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HDF 服务手册 4.7 搬送作业部 4.7-1 D45SCC-W 3-200-A0 4.7 搬送作业部 搬送作业部 搬送作业部 搬送作业部 Sentence No. D45SCC-W 3-200-A0 4.7.1 Y 工作台导轨高度调整 工作台导轨高度调整 工作台导轨高度调整 工作台导轨高度调整 Unit No. Y 工作台 导轨 高度 调 整 4.7.2 Y 工作台 导轨 平面 度 调 整 = 准备 准备 准备 准备 = 1. 百分…

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HDF
服务手册
4.6 下部组件：其它
D45SCC-W4-600-A0 4.6-2
Trial block
25 mm
5 mm
5 mm
2
0
m
m
5
m
m
5
m
m
E
AB
C
D
Dial gauge
Trial block
Adjustment bolt
Lock bolt
Lock bolt
M size
XL size
Upper face of trial block
0
.
2
5
t
o
0
.
3
0
m
m
Dial gauge
Upper face of
XY table
coplanarity
and
squareness jig
10. 测定A ~ E 的高度，确认平面度。
=规格值
规格值规格值
规格值 =
平面度: 在0.02 mm以内
11. 使用XL 尺寸时，请进入步骤16。
使用M尺寸时，请进入步骤12。
12. 如在规格值以外 ，拧松锁紧螺栓（3个）。
13. 调整螺栓（3个）和锁紧螺母（3个），调整平面
度。
14. 拧紧锁紧螺栓（3个）。
15. 拧紧调整螺栓的螺母。
16. 再次确认A ~ E的平面度 。
M 尺寸
锁紧螺栓
试打部
调整螺栓
XY 工作台平面
度·直角度治具
上面
百分表
试打部上面
百分表
试打部
锁紧螺栓
XL 尺寸
HDF
服务手册
4.7 搬送作业部
4.7-1 D45SCC-W3-200-A0
4.7 搬送作业部
搬送作业部搬送作业部
搬送作业部
Sentence No. D45SCC-W3-200-A0
4.7.1 Y 工作台导轨高度调整
工作台导轨高度调整工作台导轨高度调整
工作台导轨高度调整
Unit No.
Y
工作台导轨高度调整
4.7.2 Y
工作台导轨
平面
度调整
=准备
准备准备
准备=
1. 百分表
2. 磁性表架
3. 块规(235.0 mm)
►Y工作台导轨宽度调整
工作台导轨宽度调整工作台导轨宽度调整
工作台导轨宽度调整
1. 打开电源，返回原点。
2. 确认将副操作盘上的 “SUPPORT UP”
（支撑台上升）置于 [OFF]。
=确认
确认确认
确认=
确认支撑台处于下降状态。
3. 将块规安装到(235.0 mm)底盘上。
4. 将磁性表架安装到头组件上，使百分表尖端与块
规上面相接触。
5. 将百分表设定为0（基准）。
6. 移动百分表，使其位于导轨的A位置处。
7. 确认导轨高度。
8. 用同样的方法确认B、C 、D位置处的导轨高度。
=规格值
规格值规格值
规格值=
导轨高度: 235.0±0.1 mm
9. 如在规格值以外，拧松调整螺栓，上下移动部件，
调整。
=确认
确认确认
确认=
前后左右共有 4个部件。
10. 拧紧调整螺栓。
11. 确认导轨高度。
A
B
C
D
(
导轨部平面图
)
235.0 mm
(Y
工作台正面图
)
聚氨脂橡胶
程序块
Y
工作台正面
图
调整螺栓
HDF
服务手册
4.7 搬送作业部
D45SCC-W3-200-A0 4.7-2
4.7.2 Y 工作台导轨平面度调整
工作台导轨平面度调整工作台导轨平面度调整
工作台导轨平面度调整
Unit No.
Y
工作台导轨平面度调整
4.7.1
Y
工作台导轨
高度
调整
=准备
准备准备
准备=
1. 百分表
2. 磁性表架
3. 最大基板
4. 最小基板
►Y工作台导轨平面度调整
工作台导轨平面度调整工作台导轨平面度调整
工作台导轨平面度调整
1. 打开电源，返回原点。
2. 使Y工作台自动宽度调整返回原点。
3. 将最大基板安装到Y工作台导轨上。
4. 将副操作盘上的 “SUPPORT UP”
（支撑台上升）置于 [ON]。
5. 将磁性表架安装到头组件上，使百分表与最
大基板A位置相接触。
6. 将百分表设定为0（基准）。
7. 移动百分表，使其位于导轨的A ~ J位置处。
8. 确认平面度。
=规格值
规格值规格值
规格值=
平面度:在±0.1 mm以内
9. 如在规格值以外，拧松螺栓（8个），调整。
10. 拧紧螺栓。
11. 将副操作盘上的 “SUPPORT UP”
（支撑台上升）置于 [OFF]。
12. 移动可动导轨，使其宽度与最小基板宽度
相同。
13. 将最小基板安装到Y工作台上。
14. 将副操作盘上的 “SUPPORT UP”
（支撑台上升）置于 [ON]。
15. 再次确认平面度。
16. 如在规格值以外，从头再做一遍。
J I H G F
E C B D
A
最大基板
固定
导轨
可
动侧导轨
百分表
Bolts
螺栓