FX-3_Instruction_Manual_Rev00_C.pdf - 第26页
第 1 部 基本编 第 1 章 设备概要 1-5 ◆打开安全盖时要把盖子向上开足直到上了锁，确认上锁之后再放开手。 （把盖子开到最大限度就会进入上锁状态。） *没有上好锁就放开手时，盖子有落下来的危险。 ◆ 关盖子时先解开锁，再关闭盖子。 把盖子向上提，在全开状态下，把手把向上移动解开锁。 （请注意，解开锁时不要被落下来的盖子碰伤。） *不要把盖子、杆等压得太重。 打开：确认杆子插到头。 关闭：杆子上提，解锁。 ＜开关安全盖时的注意事项…
第 1 部 基本编 第 1 章 设备概要
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1-2 本设备的构成
1-2-1 本设备的构成
图 1-2-1-1 正面图
① 液晶监视器
⑤ 微型显示灯 ⑨ 鼠标
② 操作面板
⑥ 气动调压阀 ⑩ FDD/ DVD-ROM (选购项)
③ 电源开关
⑦ 压力表 ⑪ 真空泵（后侧）
④ 信号灯
⑧ 键盘 ⑫ 漏電断路器(后侧)
图 1-2-1-2
① ATC 单元 ④ X-Y 单元 ⑦ 送料器台架单元
② LNC60 贴片头单元 ⑤ 基板传送单元 ⑧ HMS 单元
③ OCC 单元 ⑥ CAL 块单元 ⑨ CVS 单元（选购项）
③
①
②
④
⑤
⑥
⑥
⑧
⑨
⑦
第 1 部 基本编 第 1 章 设备概要
1-5
◆打开安全盖时要把盖子向上开足直到上了锁，确认上锁之后再放开手。
（把盖子开到最大限度就会进入上锁状态。）
*没有上好锁就放开手时，盖子有落下来的危险。
◆ 关盖子时先解开锁，再关闭盖子。
把盖子向上提，在全开状态下，把手把向上移动解开锁。
（请注意，解开锁时不要被落下来的盖子碰伤。）
*不要把盖子、杆等压得太重。
打开：确认杆子插到头。
关闭：杆子上提，解锁。
＜开关安全盖时的注意事项＞
上锁
解锁
第 1 部 基本编 第 1 章 设备概要
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1-2-1-1 基板传送部的构成
① 搬入传感器 ⑧ C・OUT（OUT）传感器 ⑮ 挡块（从动导轨侧）
② 搬出传感器 ⑨ 支撑台原点传感器 ⑯ 定心销
③ 等待传感器 ⑩ 传送电磁阀 ⑰ 支撑台
④ 停止(IN)传感器 ⑪ 传送马达 ⑱ 支撑销
⑤ C・OUT(IN)传感器 ⑫ 传送马达（JOINT） ⑲ 自动调整宽度马达
⑥ JOINT 传感器 ⑬ 驱动杆 ⑳ Y夹杆
⑦ 停止(IN)传感器 ⑭ 挡块（基准轨道侧）
⑦
⑯
⑰
⑱
①
⑬
⑲
②
①
①
⑬
⑪
⑲
⑪
③
⑩
⑰
⑨
⑳
⑱
⑮
⑬
⑰
⑨
⑳
⑱
⑮⑪
⑩
⑲
②
⑬
⑪
⑧
⑦
⑯
⑥
⑤
⑭
④
⑯
①②
⑫
⑭