FX-3_Instruction_Manual_Rev00_C.pdf - 第480页
第1部 基本编 第4章 制作生产程序 4-150 ④ 请选择标记的形状。 在画面中显示如下提示信息。 标记的形状将被自动判别。判别结果有误时，请用上下方向按钮选择正确的标记。 [＊] [ ] [ ] [ ] [ ] [ ] [ ] [ ] [ ] [ ] [ ] [ ] [ ] [ ] ＰＲ ⑤ 请进行检出框的示教。 完成④的操作后，会自动显示标记尺寸 1.5 倍大的窗口，与画面中心一致(默认窗口)。 要改变检出框时，请进行与步骤③相同…
第1部 基本编 第4章 制作生产程序
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● 当标记识别不稳定时，请按下照明条件设定按钮，设置照明模式。
请在指定测量框的左上方之前，先设置照明模式。
图 4-5-2-3-1-3 设置照明条件
照明模式 处理
标准照明 识别通常的基板标记时使用此模式。
阻剂/保护胶片照明 在标记上有阻剂或保护胶片，标准照明时标记反射不佳，
识别不稳定时使用此模式。
用户定义照明
当上述 2 种模式的情况下，标记的反射均不佳，识别不稳
定时，直接设定垂直、角度照明的光量时使用此模式。
选择用户定义时，要直接输入照明值。请选择“角度照明”或“垂直照明”按钮，
在编辑框里输入数值，或按“+”、“-”按钮变更数值。
※用户定义的照明模式，一般设置在 50～200 之间。设置在 50 以下时，有时光亮不稳定。
在标记信息相同而需要仅对检出框进行重新示教时，按下[NEXT]按钮即可以
略过③的操作。
在此情况下，新识别标记时，[NEXT]按钮无效。
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④ 请选择标记的形状。
在画面中显示如下提示信息。
标记的形状将被自动判别。判别结果有误时，请用上下方向按钮选择正确的标记。
[＊]
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[ ]ＰＲ
⑤ 请进行检出框的示教。
完成④的操作后，会自动显示标记尺寸 1.5 倍大的窗口，与画面中心一致(默认窗口)。
要改变检出框时，请进行与步骤③相同的操作。
在此，如果按下“Previous”按钮，可返回检出框的示教(③的操作)。
按与刻度框同样的方式来设定检出框。
设置方法，与刻度框相同。
调整完成后按下“OK”按钮。
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⑥ 进行标记注册
结束示教后，如果标记已经被注册过，会显示是否要进行覆盖的提示信息。
图 4-5-2-3-1-4 询问“标记已经被注册过”
按“是”用示教结果覆盖现在的数据。
按“否”不反映出示教结果。
另外，与标记是否已注册过无关，会显示是否要向标记数据的标记数据库进行注册的对话
框。
图 4-5-2-3-1-5 标记数据库管理对话框