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3. 传感器配置图 MEC-NXT3-004S0 80 NXT III 机械手册 3.8 废料带处理単元传感器 No. 地址 信号名 1 RX00A 废料带切刀动作端确认 2 RX00B 废料带切刀原位置确认 3 Y008 废料带切刀动作指示 PK1 P K 1 1 3 3 2 1 2 01MEC-1380

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MEC-NXT3-004S0 3. 传感器配置图
NXT III 机械手册 79
3.7 料站基座传感器
No. 地址 信号名
1 RX018 供料器托架贴紧确认 ( )
2 RX019 供料器托架贴紧确认 ( )
3 RX01A 供料器托架确认
4 RX01B 供料器托架夹紧确认
5 RX01C 供料器托架松开确认
6 RY018 供料器托架夹紧
7 RY019 供料器托架松开
8 X01B 料站基座冷却风扇正常
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01MEC-1379
3. 传感器配置图 MEC-NXT3-004S0
80 NXT III 机械手册
3.8 废料带处理単元传感器
No. 地址 信号名
1 RX00A 废料带切刀动作端确认
2 RX00B 废料带切刀原位置确认
3 Y008 废料带切刀动作指示
PK1
1
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01MEC-1380
MEC-NXT3-004S0 3. 传感器配置图
NXT III 机械手册 81
3.9 运轨传感器
3.9.1 单搬运轨
M3-3 模组
No. 地址 信号名
1 CX000 轨道 1 搬运轨道电路板通过确认 L
2 CX001 轨道 1 搬运轨道电路板通过确认 R
3 CX005 轨道 1 搬运轨道真空支撑销确认
4 - 轨道 1 搬运轨道电路板通过确认 L 放大器
5 - 轨道 1 搬运轨道电路板通过确认 R 放大器
01MEC-0320
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