LmrNXT3.pdf - 第198页
5. 预防保养 MEC-NXT3-004S0 174 NXT III 机械手册 主体 模组内部 ● - - - - - - - 2 基座 · 模组支持面 - - - ★ - - - - 5 模组内过滤器 - - - ● - - - - 10 空气调节器 - - - - - ● - - 15 湿气分离器 - - - - - - ● - 15 真空泵过滤器 - - - - - - ● - 15 排出元件搬 运轨道 搬运轨道皮带 - - ● …
MEC-NXT3-004S0 5. 预防保养
NXT III 机械手册 173
XY 机械手
〈M3-3〉
线性马达冷却风扇过滤器 - - - ● - ▲ - -
X 轴齿轮 *15 - - - ★ - - - - 5
X 轴滚珠丝杆 - - - - ★ - - - 5
X 轴导轨 - - - - ★ - - - 5
Y 轴导轨 - - - - ★ - - - 5
XS 轴齿轮 - - - ★ - - - - 5
XS 轴滚珠丝杆 - - - - ★ - - - 5
XS 轴导轨 - - - - ★ - - - 5
X/Y 轴平型电缆 - - - - ★ - - - 10
XY 机械手
〈M6-3〉
线性马达冷却风扇过滤器 - - - ● - ▲ - -
X 轴齿轮 - - - ★ - - - - 5
X 轴滚珠丝杆 - - - - ★ - - - 5
X 轴导轨 - - - - ★ - - - 5
Y 轴导轨 - - - - ★ - - - 5
X/Y 轴平型电缆 - - - - ★ - - - 10
定位相机 光源内板透镜面 - - - - - ● - - 3
元件相机 玻璃罩面 ● - - - - - - - 2
光源内玻璃面 ● - - - - - - - 2
镜头 - - - - - ● - - 15
废料带处理
单元
导轨 - - - - - - ★ - 20
基座平板 - - - - - - ★ - 10
切刀 - - - - - - - ● *14 20
输送槽 - - - - - - - ● *15 15
刷子 - - - - - - - ▲ *16 20
维修保养项目 （●：清扫、★：加油、■：
检查、▲：更换）
每周
(160h)
每2周
(320h)
每1月
(700h)
每3月
(2,000h)
每6月
(4,000h)
每1年
(8,000h)
每 12,000
时间
不定期
操作时间
(分)
5. 预防保养 MEC-NXT3-004S0
174 NXT III 机械手册
主体 模组内部 ● - - - - - - - 2
基座 · 模组支持面 - - - ★ - - - - 5
模组内过滤器 - - - ● - - - - 10
空气调节器 - - - - - ● - - 15
湿气分离器 - - - - - - ● - 15
真空泵过滤器 - - - - - - ● - 15
排出元件搬
运轨道
搬运轨道皮带 - - ● - - - - - 5
料盘单元 -
LT
料站、接插头 ● - - - - - - - 1
搬运轨道皮带 - - ● - - - - - 5
往复臂皮带 - - ● - - - ● - 5
TZ1/TZ2 轴滚珠丝杆 - - - - - - ★ - 10
升降部齿轮 - - - - - - ★ - 10
TZ1/TZ2 轴皮带张力 - - - - - - ■ - 10
TY 轴皮带张力 （往复臂） - - - - - - ■ - 10
TY 轴皮带张力 （驱动部） - - - - - - ■ - 10
料盘托架背面贴片 - - - - - - ■
▲
-1
5
料站基座连接接插头 - - - - - - - ● *7 10
料盘单元 -
LTC
料站、接插头 ● ● - - - - - - 1
搬运轨道皮带 - - ● - - - - - 5
往复臂皮带 - - ● - - - ● - 5
TZ1/TZ2 轴滚珠丝杆 - - - - - - ★ - 10
升降部齿轮 - - - - - - ★ - 10
TZ1/TZ2 轴皮带张力 - - - - - - ■ - 10
TY 轴皮带张力 （往复臂） - - - - - - ■ - 10
TY 轴皮带张力 （驱动部） - - - - - - ■ - 10
料盘托架背面胶片 - - - - - - ■
▲
-1
5
料站基座连接接插头 - - - - - - - ● *7 10
维修保养项目 （●：清扫、★：加油、■：
检查、▲：更换）
每周
(160h)
每2周
(320h)
每1月
(700h)
每3月
(2,000h)
每6月
(4,000h)
每1年
(8,000h)
每 12,000
时间
不定期
操作时间
(分)
MEC-NXT3-004S0 5. 预防保养
NXT III 机械手册 175
*5: 每吸取 150,000 次或者吸取异常时
*6:每2～3周，或者吸取异常时
*7: 夹紧异常时
*8: 吸嘴真空压异常时或者污垢严重时
*9: 发生影像处理错误后 , 如果清洁反光镜也没有改善时
*10: 搬运异常时
*11: 支撑销的污垢残留在电路板上时
*12: 电路板夹紧异常时
*13: 变更搬运轨道宽度异常时
*14: 切刀动作异常时
*15: 送料不良时
*16: 详细参考 「5.11.18 废料带处理单元的刷子的更换」
*17: 动作异常时
*18: 所记载的时间是使用了工作头清洁器的气源清洁的作业时间。使用另行出售的工作头
自动清洗机的时候的按工作头分的作业时间，如下所示。该作业时间中也包含工作头的检查
时间。关于工作头自动清洗机的使用方法请参照别册的 「工作头自动清洗机使用说明书」。
料盘单元 -M 往复臂皮带 - - - - ● - - - 5
料盘箱皮带 - - - - ● - - - 10
TY 轴离合器 - - - - - - ★ - 10
料盘定位销 - - - - - - ★ - -
料盘定位销驱动轴 - - - - - - ★ - -
TZ 轴皮带张力 （料盘箱升降
部）
------■- 10
TZ 轴皮带张力 （料盘箱升降
部）
------■- 10
TY 轴皮带张力 （离合器部） - - - - - - ■ - 10
TY 轴皮带张力 （驱动部） - - - - - - ■ - 10
PCU-2( 托架
更换台车 )
PCU-2 架的运动部 - - - - - - - ★ *17 10
维修保养项目 （●：清扫、★：加油、■：
检查、▲：更换）
每周
(160h)
每2周
(320h)
每1月
(700h)
每3月
(2,000h)
每6月
(4,000h)
每1年
(8,000h)
每 12,000
时间
不定期
操作时间
(分)
清洁方法 H04 H04S/
H04SF
H08 H08M H12HS V12 H24
气源清洁 6 6 10 10 14 14 26
油清洁 17172323303057