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3. 传感器配置图 MEC-NXT3-004S0 82 NXT III 机械手册 M6-3 模组 No. 地址 信号名 1 CX000 轨道 1 搬运轨道电路板通过确 认 L 2 CX001 轨道 1 搬运轨道电路板通过确 认 R 3 CX005 轨道 1 搬运 轨道真空支撑销 检测 4 - 轨道 1 搬运轨道电路板通过确认 L 放大器 5 - 轨道 1 搬运轨道电路板通过确认 R 放大器 01MEC-0252 1 2 2 1 3 5 …
MEC-NXT3-004S0 3. 传感器配置图
NXT III 机械手册 81
3.9 运轨传感器
3.9.1 单搬运轨
M3-3 模组
No. 地址 信号名
1 CX000 轨道 1 搬运轨道电路板通过确认 L
2 CX001 轨道 1 搬运轨道电路板通过确认 R
3 CX005 轨道 1 搬运轨道真空支撑销确认
4 - 轨道 1 搬运轨道电路板通过确认 L 放大器
5 - 轨道 1 搬运轨道电路板通过确认 R 放大器
01MEC-0320
1
2
2
1
3
5
4
3
3. 传感器配置图 MEC-NXT3-004S0
82 NXT III 机械手册
M6-3 模组
No. 地址 信号名
1 CX000 轨道 1 搬运轨道电路板通过确认 L
2 CX001 轨道 1 搬运轨道电路板通过确认 R
3 CX005 轨道 1 搬运轨道真空支撑销检测
4 - 轨道 1 搬运轨道电路板通过确认 L 放大器
5 - 轨道 1 搬运轨道电路板通过确认 R 放大器
01MEC-0252
1
2
2
1
3
5
4
3
MEC-NXT3-004S0 3. 传感器配置图
NXT III 机械手册 83
3.9.2 双搬运轨道
M3-3 模组
No. 地址 信号名
1 CX000 轨道 1 搬运轨道电路板通过确认 L
2 CX001 轨道 1 搬运轨道电路板通过确认 R
3 CX005 轨道 1 搬运轨道真空支撑销确认
4 CX008 轨道 2 搬运轨道电路板通过确认 L
5 CX009 轨道 2 搬运轨道电路板通过确认 R
6 CX00D 轨道 2 搬运轨道真空支撑销确认
7 CX00F 轨道 2 基准搬运轨道支撑销检测
8 - 轨道 1 搬运轨道电路板通过确认 L 放大器
9 - 轨道 1 搬运轨道电路板通过确认 R 放大器
10 - 轨道 2 搬运轨道电路板通过确认 L 放大器
11 - 轨道 2 搬运轨道电路板通过确认 R 放大器
01MEC-0319
8
9
10
11
2
5
2
5
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1
4
4
3
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