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MEC-NXT3-004S0 2. 机器构成和功能说明 NXT III 机械手册 59 4M-3 基座 NO. 名称 NO. 名称 1 控制箱 1 11 远程控制 I/O 电路板 2 2 电路板搬运接口 L 12 真空泵控制箱 3 电路板搬运接口 R 13 真空泵 4 干扰过滤器 14 风扇 5 电流断路器 15 远程控制 I/O 电路板 1 6 基座 CPU 箱 16 控制箱 2 7 压力计 17 XS 联锁电路板 2 8 主开关 1…
2. 机器构成和功能说明 MEC-NXT3-004S0
58 NXT III 机械手册
基座 CPU 箱
设置于基座内，收存了控制机器的线路板。此 CPU 箱可以与基座上搭载的模组之间进行通信
管理。
基座控制箱
设置于基座内，收存了控制机器所需要的电路板、电气线路。
2M-3 基座
NO. 名称 NO. 名称
1 控制箱 9 真空泵
2 电路板搬运接口 L 10 基座 CPU 箱
3 电路板搬运接口 R 11 远程控制 I/O 电路板
4 干扰过滤器 12 XS 联锁电路板
5 电流断路器 13 真空泵控制箱
6 压力计 14 风扇
7 主开关 15 集线器
8 电流断路器箱
01MEC-1340-a
1
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5
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9
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6
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MEC-NXT3-004S0 2. 机器构成和功能说明
NXT III 机械手册 59
4M-3 基座
NO. 名称 NO. 名称
1 控制箱 1 11 远程控制 I/O 电路板 2
2 电路板搬运接口 L 12 真空泵控制箱
3 电路板搬运接口 R 13 真空泵
4 干扰过滤器 14 风扇
5 电流断路器 15 远程控制 I/O 电路板 1
6 基座 CPU 箱 16 控制箱 2
7 压力计 17 XS 联锁电路板 2
8 主开关 18 XS 联锁电路板 1
9 电流断路器箱 1 19 集线器
10 电流断路器箱 2 - -
01MEC-1341-a
1
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2. 机器构成和功能说明 MEC-NXT3-004S0
60 NXT III 机械手册
4M-3B6 基座
NO. 名称 NO. 名称
1 控制箱 1 9 电流断路器箱 1
2 电路板搬运接口 L 10 远程控制 I/O 电路板 2
3 电路板搬运接口 R 11 真空泵控制箱
4 干扰过滤器 12 真空泵
5 电流断路器 13 风扇
6 基座 CPU 箱 14 远程控制 I/O 电路板 1
7 压力计 15 控制箱 2
8 主开关 16 集线器
01MEC-1802
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