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3. 传感器配置图 MEC-NXT3-004S0 66 NXT III 机械手册 3.3 主体模组部传感器 N0. 地址 信号名 1 X01A 模组下部冷却风扇正常 2 RX010 空气压力确认 3 RX011 元件真空压力确认 4 RX013 相邻模组松开确认 5 RX014 元件废弃箱落座确认 6 RX015 供料器误插入检测 7 Y006 相邻模组锁定确认 8 RY01C 集尘空气吹气 ON 01MEC-1418 1 1 2 2 …

MEC-NXT3-004S0 3. 传感器配置图
NXT III 机械手册 65
3.2.5 模组相关的输出信号
信号名 模组 1 模组 2 模组 3 模组 4
夹紧 30 RY000 34 RY008 38 RY010 42 RY018
松开 31 RY001 35 RY009 39 RY011 43 RY019
前后侧夹紧 32 RY002 36 RY00A 40 RY012 44 RY01A
前后侧松开 33 RY003 37 RY00B 41 RY013 45 RY01B

3. 传感器配置图 MEC-NXT3-004S0
66 NXT III 机械手册
3.3 主体模组部传感器
N0. 地址 信号名
1 X01A 模组下部冷却风扇正常
2 RX010 空气压力确认
3 RX011 元件真空压力确认
4 RX013 相邻模组松开确认
5 RX014 元件废弃箱落座确认
6 RX015 供料器误插入检测
7 Y006 相邻模组锁定确认
8 RY01C 集尘空气吹气 ON
01MEC-1418
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NXT III 机械手册 67
3.4 XY 机械手传感器
3.4.1 M3 类型模组
No. 地址 信号名
1 X005 XS 轴联锁 1
2 X006 XS 轴联锁 2
3 X007 XS 轴联锁 3
4 RX00C 工作头连接确认
5 RX00D Y 轴线性马达温度正常
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