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MEC-NXT3-004S0 5. 预防保养 NXT III 机械手册 173 XY 机械手 〈M3-3〉 线性马达冷却风扇过滤器 - - - ● - ▲ - - X 轴齿轮 *15 - - - ★ - - - - 5 X 轴滚珠丝杆 - - - - ★ - - - 5 X 轴导轨 - - - - ★ - - - 5 Y 轴导轨 - - - - ★ - - - 5 XS 轴齿轮 - - - ★ - - - - 5 XS 轴滚珠丝杆 - …
5. 预防保养 MEC-NXT3-004S0
172 NXT III 机械手册
H24 工作头 元件侧面识别部 ● - - - - - - - 5
真空过滤器 - - ● - - ▲ - - 25
升降杆和升降杆内 O 型圈 - - ★ - - - - - 10
Q 轴齿轮 ( 下部升降杆侧 ) - - ★ - - - - - 10
机械阀的 O 型圈 - - ■ - - -
▲
-30
60
升降杆内部 - - ● - - - - - 60
*18
机械阀驱动用转臂旋转轴 - - - - ★ - - - 5
Q 轴齿轮 ( 上部马达侧 ) - - - - ★ - - - 5
R 轴齿轮 - - - - ★ - - - 5
Z 轴滚珠丝杆 - - - - - - ★ - 10
Z 轴导向往复臂 - - - - - - ★ - 10
机械阀驱动用凸轮推杆 - - - - - - ★ - 10
搬运轨道 电路板通过确认传感器 - - - - - ● - - 5
CZ 轴滚珠丝杆 - - - - - - ★ - 15
宽度变更滚珠丝杆 - - - - - - ★ - 10
搬运轨道传送带张力 - - - - - - ■ ▲ *10 10
搬运轨道传送带 - - - - - - - ● *10
软支撑销 - - - - - - - ● *11
CZ 轴传送带张力 - - - - - - - ■ *12
搬运马达传送带张力 - - - - - - - ■ *10
变更宽度马达传送带张力 - - - - - - - ■ *13
维修保养项目 （●：清扫、★：加油、■：
检查、▲：更换）
每周
(160h)
每2周
(320h)
每1月
(700h)
每3月
(2,000h)
每6月
(4,000h)
每1年
(8,000h)
每 12,000
时间
不定期
操作时间
(分)
MEC-NXT3-004S0 5. 预防保养
NXT III 机械手册 173
XY 机械手
〈M3-3〉
线性马达冷却风扇过滤器 - - - ● - ▲ - -
X 轴齿轮 *15 - - - ★ - - - - 5
X 轴滚珠丝杆 - - - - ★ - - - 5
X 轴导轨 - - - - ★ - - - 5
Y 轴导轨 - - - - ★ - - - 5
XS 轴齿轮 - - - ★ - - - - 5
XS 轴滚珠丝杆 - - - - ★ - - - 5
XS 轴导轨 - - - - ★ - - - 5
X/Y 轴平型电缆 - - - - ★ - - - 10
XY 机械手
〈M6-3〉
线性马达冷却风扇过滤器 - - - ● - ▲ - -
X 轴齿轮 - - - ★ - - - - 5
X 轴滚珠丝杆 - - - - ★ - - - 5
X 轴导轨 - - - - ★ - - - 5
Y 轴导轨 - - - - ★ - - - 5
X/Y 轴平型电缆 - - - - ★ - - - 10
定位相机 光源内板透镜面 - - - - - ● - - 3
元件相机 玻璃罩面 ● - - - - - - - 2
光源内玻璃面 ● - - - - - - - 2
镜头 - - - - - ● - - 15
废料带处理
单元
导轨 - - - - - - ★ - 20
基座平板 - - - - - - ★ - 10
切刀 - - - - - - - ● *14 20
输送槽 - - - - - - - ● *15 15
刷子 - - - - - - - ▲ *16 20
维修保养项目 （●：清扫、★：加油、■：
检查、▲：更换）
每周
(160h)
每2周
(320h)
每1月
(700h)
每3月
(2,000h)
每6月
(4,000h)
每1年
(8,000h)
每 12,000
时间
不定期
操作时间
(分)
5. 预防保养 MEC-NXT3-004S0
174 NXT III 机械手册
主体 模组内部 ● - - - - - - - 2
基座 · 模组支持面 - - - ★ - - - - 5
模组内过滤器 - - - ● - - - - 10
空气调节器 - - - - - ● - - 15
湿气分离器 - - - - - - ● - 15
真空泵过滤器 - - - - - - ● - 15
排出元件搬
运轨道
搬运轨道皮带 - - ● - - - - - 5
料盘单元 -
LT
料站、接插头 ● - - - - - - - 1
搬运轨道皮带 - - ● - - - - - 5
往复臂皮带 - - ● - - - ● - 5
TZ1/TZ2 轴滚珠丝杆 - - - - - - ★ - 10
升降部齿轮 - - - - - - ★ - 10
TZ1/TZ2 轴皮带张力 - - - - - - ■ - 10
TY 轴皮带张力 （往复臂） - - - - - - ■ - 10
TY 轴皮带张力 （驱动部） - - - - - - ■ - 10
料盘托架背面贴片 - - - - - - ■
▲
-1
5
料站基座连接接插头 - - - - - - - ● *7 10
料盘单元 -
LTC
料站、接插头 ● ● - - - - - - 1
搬运轨道皮带 - - ● - - - - - 5
往复臂皮带 - - ● - - - ● - 5
TZ1/TZ2 轴滚珠丝杆 - - - - - - ★ - 10
升降部齿轮 - - - - - - ★ - 10
TZ1/TZ2 轴皮带张力 - - - - - - ■ - 10
TY 轴皮带张力 （往复臂） - - - - - - ■ - 10
TY 轴皮带张力 （驱动部） - - - - - - ■ - 10
料盘托架背面胶片 - - - - - - ■
▲
-1
5
料站基座连接接插头 - - - - - - - ● *7 10
维修保养项目 （●：清扫、★：加油、■：
检查、▲：更换）
每周
(160h)
每2周
(320h)
每1月
(700h)
每3月
(2,000h)
每6月
(4,000h)
每1年
(8,000h)
每 12,000
时间
不定期
操作时间
(分)