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NPM-W X / W XS EJM9DC-MB-02T -00 机器之间搬送同期不一 致 中间基板要求信号 ON 的 超时错误 基板搬入等待超时错误 错误 信息 故障排除 2-1-3 单一停止错误 21 错误代码 错误信息 错误原因 检查和对策 基板没有被正常搬送。 ( 发生了单一停止错误。 ) 请确认设备内部后取出基板 21012 机器间的中间待机搬送时后 工序机器的基板要求信号没 有打开。 ( 机器间的中间待机搬送发生 了超时 )…
NPM-WX / WXS EJM9DC-MB-02T-00
基板定位超时错误
基板定位错误
传送带的越限传感器异
常
基板有错误
错误代码
错误信息
错误原因 检查和对策
基板搬入时基板停止位置传感
器已经打开。
(基板搬入时检测有基板。)
请确认传送带上的基板和基板检测传
感器的状态
21008
基板搬入时由于越限检出传
感器没有打开。
(基板搬入时越限传感器发生
异常。)
请确认传送带上的基板和基板检测传
感器的状态
21009
基板搬入时由于越限检出停
止位置传感器关闭了。
(基板搬入时发生了基板位置
决定错误。)
请确认传送带上的基板和基板检测传
感器的状态
21010
基板没有被正常搬送。
(发生了单一停止错误。)
请确认设备内部后取出基板
21011
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NPM-WX / WXS EJM9DC-MB-02T-00
机器之间搬送同期不一
致
中间基板要求信号ON的
超时错误
基板搬入等待超时错误
错误
信息
故障排除
2-1-3
单一停止错误 21
错误代码
错误信息
错误原因 检查和对策
基板没有被正常搬送。
(发生了单一停止错误。)
请确认设备内部后取出基板
21012
机器间的中间待机搬送时后
工序机器的基板要求信号没
有打开。
(机器间的中间待机搬送发生
了超时)
请实施其中某个对策。
1)请确认机器间的同步确认信号和中
间待机确认信号的状态。
2)请确认异常发生时的状态并联系本
公司
21013
基板没有被正常搬送。
(发生了单一停止错误。)
请确认设备内部后取出基板
21014
2-1-3-41
NPM-WX / WXS EJM9DC-MB-02T-00
基板信息通信错误
基板信息交接错误
错误代码
错误信息
错误原因 检查和对策
基板搬送时基板信息的交接
错误。
(基板信息的交接发生了错
误。)
请实施其中某个对策。
1)请确认传送带上的基板位置。
2)请确认机器间的通信设定。
3)请确认异常发生时的状态并联系本
公司
21015
基板搬出时基板信息的移动
等待发生了超时。
(基板信息的通信发生了错
误。)
请实施其中某个对策。
1)请确认传送带上的基板位置。
2)请确认机器间的通信设定。
3)请确认异常发生时的状态并联系本
公司
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