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NPM-W X / W XS EJM9DC-MB-02T -00 基板搬入错误 基板连结检出错误 传送带任务处理错误 品种名不一致 基板吸着错误 错误代码 错误信息 错误原因 检查和对策 基板吸着真空压低。基板有可 能没被正确设置。 ( 发生了单一停止错误。 ) 请确认基板的状态。然后请正确设置 并重新开始生产 22119 基板没有被正常搬送。 ( 发生了单一停止错误。 ) 请确认设备内部后取出基板 21001 基板没有被正常搬送。 (…
NPM-WX / WXS EJM9DC-MB-02T-00
支撑销吸嘴交换器识别
错误
拼接编带检出停止
支撑销2D码不一致错误
支撑销无更换吸嘴错误
错误
信息
故障排除
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单一停止错误 44
错误代码
错误信息
错误原因 检查和对策
支撑销更换用吸嘴全部被设为
不良吸嘴。
(发生了单一停止错误。)
请解除不良吸嘴的设定
22115
支撑销更换用吸嘴的2D码不
正确。
(发生了单一停止错误。)
请确认支撑销更换用吸嘴交换器内的
吸嘴是否为支撑销更换用吸嘴
22116
拼接编带检出。
(发生了单一停止错误。)
请确认拼接编带
22117
可考虑以下某种原因。
1)支撑销更换用吸嘴交换器的
识别标记在照相机的识别范
围之外。
2)因识别标记的污损等发生识
别错误。
(发生了单一停止错误。)
请确认支撑销更换用吸嘴交换器的标
记识别的状态
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NPM-WX / WXS EJM9DC-MB-02T-00
基板搬入错误
基板连结检出错误
传送带任务处理错误
品种名不一致
基板吸着错误
错误代码
错误信息
错误原因 检查和对策
基板吸着真空压低。基板有可
能没被正确设置。
(发生了单一停止错误。)
请确认基板的状态。然后请正确设置
并重新开始生产
22119
基板没有被正常搬送。
(发生了单一停止错误。)
请确认设备内部后取出基板
21001
基板没有被正常搬送。
(发生了单一停止错误。)
请确认设备内部后取出基板
21002
基板没有被正常搬送。
(发生了单一停止错误。)
请确认设备内部后取出基板
21003
基板搬入时超时。
(发生了基板搬入错误。)
请实施其中某个对策。
1)请确认传送带上的基板和基板检出
传感器的状态。
2)请确认传送带的宽度
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后工序要求OFF的超时
错误
基板搬出后传感器异常
基板搬出错误
错误
信息
故障排除
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单一停止错误 45
错误代码
错误信息
错误原因 检查和对策
基板搬出时超时。
(发生了基板搬出错误。)
请实施其中某个对策。
1)请确认传送带上的基板和基板检出
传感器的状态。
2)请确认传送带的宽度
21005
基板搬出后停止位置传感器
打开了。
(发生了基板搬出后传感器异
常。)
请实施其中某个对策。
1)请确认传送带上的基板和基板检出
传感器的状态。
2)请确认传送带的宽度
21006
基板排出后后工序机器的基
板要求信号在设定时间内没
有关闭。
(发生了后工序要求关闭等待
超时。)
请实施其中某个对策。
1)请确认传送带上的基板和基板检出
传感器的状态。
2)请确认基板排出等待时间(要求关
闭)的设定值
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