N7201A707C.pdf - 第142页
NPM-W X / W XS EJM9DC-MB-02T -00 转印台材料用完 基板吸着 OFF 超时错误 基板吸着 ON 超时错误 基板吸着错误 基板停止位置传感器异 常 错误 信息 故障排除 2-1-3 单一停止错误 42 错误代码 错误信息 错误原因 检查和对策 基板搬入时超限传感器比基 板停止传感器先检测为打开。 ( 基板的停止位置传感器发生 了错误。 ) 请实施其中某个对策。 1) 请确认传送带上的基板和基板检测 传感器的状…

NPM-WX / WXS EJM9DC-MB-02T-00
搬送马达异常
LNB命令接收超时
错误代码
错误信息
错误原因 检查和对策
等待读取外置基板条形码超
时。
(从LNB接收命令发生了超
时。)
请实施其中某个对策。
1)请确认LNB和机器间的通信状态。
2)请确认机器间的通信设定。
3)请确认异常发生时的状态并联系本
公司
21020
基板搬送时检测到马达的驱
动错误。
(搬送马达发生了异常。)
请实施其中某个对策。
1)请确认搬送马达。
2)请确认安全盖以及紧急停止开关的
状态。
3)请确认异常发生时的状态并联系本
公司
21021
2-1-3-82

NPM-WX / WXS EJM9DC-MB-02T-00
转印台材料用完
基板吸着OFF超时错误
基板吸着ON超时错误
基板吸着错误
基板停止位置传感器异
常
错误
信息
故障排除
2-1-3
单一停止错误 42
错误代码
错误信息
错误原因 检查和对策
基板搬入时超限传感器比基
板停止传感器先检测为打开。
(基板的停止位置传感器发生
了错误。)
请实施其中某个对策。
1)请确认传送带上的基板和基板检测
传感器的状态。
2)请确认异常发生时的状态并联系本
公司
21022
基板没有被正常搬送。
(发生了单一停止错误。)
请确认设备内部后取出基板
21023
基板没有被正常搬送。
(发生了单一停止错误。)
请确认设备内部后取出基板
21024
基板没有被正常搬送。
(发生了单一停止错误。)
请确认设备内部后取出基板
21025
转印台的材料不足。
(发生了单一停止错误。)
请向转印台供给材料
22099
2-1-3-83

NPM-WX / WXS EJM9DC-MB-02T-00
基板弯曲计测错误
吸嘴条形码识别错误发
生
注射头转印材料用完
转印材料自动供给错误
错误代码
错误信息
错误原因 检查和对策
可考虑以下某种原因。
1)注射头的顶端堵塞。
2)注射头的转印材料不足。
3)注射头没有被正确安装。
(发生了单一停止错误。)
请执行与原因相对应的号码的对策。
1)请确认注射头的顶端。
2)请向注射头供给转印材料。
3)请确认注射头的安装情况
22100
注射头的转印材料不足。
(发生了单一停止错误。)
请向注射头供给转印材料
22101
交换器里面用于生产的吸嘴,
和生产数据登录的不一致。
(发生了单一停止错误。)
请确认交换器里面的吸嘴的条形码
22102
基板过度弯曲。
(发生了单一停止错误。)
请确认基板
22103
2-1-3-84