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NPM-W X / W XS EJM9DC-MB-02T -00 错误代码 错误信息 错误原因 检查和对策 2-1-4 -105 基板定位错误 传送带的越限传感器异 常 基板有错误 后工序要求 OFF 的超时 错误 基板排出后后工序机器的基 板要求信号在设定时间内没 有关闭。 ( 发生了后工序要求关闭等待 超时。 ) 请实施其中某个对策。 1) 请确认传送带上的基板和基板检出 传感器的状态。 2) 请确认基板排出等待时间 ( 要求关 闭…
NPM-WX / WXS EJM9DC-MB-02T-00
错误
信息
故障排除
2-1-4
紧急停止错误 53
错误代码
错误信息
错误原因 检查和对策
2-1-4
-104
基板搬出后传感器异常
基板搬出错误
基板搬入错误
基板搬入时超时。
(发生了基板搬入错误。)
请实施其中某个对策。
1)请确认传送带上的基板和基板检出
传感器的状态。
2)请确认传送带的宽度
30400
基板搬出时超时。
(发生了基板搬出错误。)
请实施其中某个对策。
1)请确认传送带上的基板和基板检出
传感器的状态。
2)请确认传送带的宽度
30401
基板搬出后停止位置传感器
打开了。
(发生了基板搬出后传感器异
常。)
请实施其中某个对策。
1)请确认传送带上的基板和基板检出
传感器的状态。
2)请确认传送带的宽度
30402
NPM-WX / WXS EJM9DC-MB-02T-00
错误代码
错误信息
错误原因 检查和对策
2-1-4
-105
基板定位错误
传送带的越限传感器异
常
基板有错误
后工序要求OFF的超时
错误
基板排出后后工序机器的基
板要求信号在设定时间内没
有关闭。
(发生了后工序要求关闭等待
超时。)
请实施其中某个对策。
1)请确认传送带上的基板和基板检出
传感器的状态。
2)请确认基板排出等待时间(要求关
闭)的设定值
30403
基板搬入时基板停止位置传感
器已经打开。
(基板搬入时检测有基板。)
请确认传送带上的基板和基板检测传
感器的状态
30404
基板搬入时由于越限检出传
感器没有打开。
(基板搬入时越限传感器发生
异常。)
请确认传送带上的基板和基板检测传
感器的状态
30405
基板搬入时由于越限检出停
止位置传感器关闭了。
(基板搬入时发生了基板位置
决定错误。)
请确认传送带上的基板和基板检测传
感器的状态
30406
NPM-WX / WXS EJM9DC-MB-02T-00
错误
信息
故障排除
2-1-4
紧急停止错误 54
错误代码
错误信息
错误原因 检查和对策
2-1-4
-106
基板信息交接错误
中间基板要求信号ON的
超时错误
机器间的中间待机搬送时后
工序机器的基板要求信号没
有打开。
(机器间的中间待机搬送发生
了超时)
请实施其中某个对策。
1)请确认机器间的同步确认信号和中
间待机确认信号的状态。
2)请确认异常发生时的状态并联系本
公司
30407
基板搬送时基板信息的交接
错误。
(基板信息的交接发生了错
误。)
请实施其中某个对策。
1)请确认传送带上的基板位置。
2)请确认机器间的通信设定。
3)请确认异常发生时的状态并联系本
公司
30408