N7201A707C.pdf - 第141页
NPM-W X / W XS EJM9DC-MB-02T -00 搬送马达异常 LNB 命令接收超时 错误代码 错误信息 错误原因 检查和对策 等待读取外置基板条形码超 时。 ( 从 LNB 接收命令发生了超 时。 ) 请实施其中某个对策。 1) 请确认 LNB 和机器间的通信状 态。 2) 请确认机器间的通信设定。 3) 请确认异常发生时的状态并联系本 公司 21020 基板搬送时检测到马达的驱 动错误。 ( 搬送马达发生了异常。 )…
NPM-WX / WXS EJM9DC-MB-02T-00
上位系统检测错误
LNB命令发送错误
错误
信息
故障排除
2-1-3
单一停止错误 41
错误代码
错误信息
错误原因 检查和对策
读取基板条形码要求发生了
发送错误。
(向LNB发送命令发生了错
误。)
请实施其中某个对策。
1)请确认LNB和机器间的通信状态。
2)请确认机器间的通信设定。
3)请确认异常发生时的状态并联系本
公司
21018
外置基板条形码的读取确认
发生了接收错误。
(从LNB接收命令发生了错
误。)
请实施其中某个对策。
1)请确认LNB和机器间的通信状态。
2)请确认机器间的通信设定。
3)请确认异常发生时的状态并联系本
公司
21019
2-1-3-81
NPM-WX / WXS EJM9DC-MB-02T-00
搬送马达异常
LNB命令接收超时
错误代码
错误信息
错误原因 检查和对策
等待读取外置基板条形码超
时。
(从LNB接收命令发生了超
时。)
请实施其中某个对策。
1)请确认LNB和机器间的通信状态。
2)请确认机器间的通信设定。
3)请确认异常发生时的状态并联系本
公司
21020
基板搬送时检测到马达的驱
动错误。
(搬送马达发生了异常。)
请实施其中某个对策。
1)请确认搬送马达。
2)请确认安全盖以及紧急停止开关的
状态。
3)请确认异常发生时的状态并联系本
公司
21021
2-1-3-82
NPM-WX / WXS EJM9DC-MB-02T-00
转印台材料用完
基板吸着OFF超时错误
基板吸着ON超时错误
基板吸着错误
基板停止位置传感器异
常
错误
信息
故障排除
2-1-3
单一停止错误 42
错误代码
错误信息
错误原因 检查和对策
基板搬入时超限传感器比基
板停止传感器先检测为打开。
(基板的停止位置传感器发生
了错误。)
请实施其中某个对策。
1)请确认传送带上的基板和基板检测
传感器的状态。
2)请确认异常发生时的状态并联系本
公司
21022
基板没有被正常搬送。
(发生了单一停止错误。)
请确认设备内部后取出基板
21023
基板没有被正常搬送。
(发生了单一停止错误。)
请确认设备内部后取出基板
21024
基板没有被正常搬送。
(发生了单一停止错误。)
请确认设备内部后取出基板
21025
转印台的材料不足。
(发生了单一停止错误。)
请向转印台供给材料
22099
2-1-3-83