JUKYX-193-5100_G5S2.pdf - 第73页
2-A 193-5100 JUKYX 2
193-5100
JUKYX
1-22
NOZZLE1
NOZZLE2
NOZZLE3
7
10
12
Fig_1-20SA
193-5100
JUKYX
2-1
記 号 名 称 記 号 名 称
M66
真空ポンプ
Y0638
真空 / 一括廃棄切替 Y0938
真空 / 一括廃棄切替
Y0639
高速 / 多機能切替 Y0939
高速 / 多機能切替
S141
エア圧低下検出
Q221
INPUT : 100-240VA 0.5 A 50/60Hz
HWS15 - 5 /A
OUTPUT : 5 V 3 A
R
1
2
7
8
IC1
L
E
D
8
(赤)
L
E
D
7
L
E
D
6
L
E
D
5
L
E
D
4
L
E
D
3
L
E
D
2
L
E
D
1
1
2
7
8
1
2
13
14
1
2
9
10
1
2
9
10
1
2
9
10
1
2
9
10
1
2
23
24
1
2
5
6
1
2
15
16
1
2
13
14
1
2
15
16
1
2
9
10
1
2
9
10
1
2
9
10
1
2
9
10
1
2
19
20
X1
1
2
3
4
1
2
3
4
1
2
9
10
1
2
9
10
1
2
25
26
1
2
25
26
1
2
25
26
1
2
25
26
SW1
123 4 5678
ON
1 6
3
4
1 6
3
4
1 6
3
4
1 6
3
4
1 6
3
4
1 6
3
4
X2
61
1
2
7
8
1
2
7
8
1
2
7
8
CN1
1
2
7
8
1
2
7
8
1
2
3
4
1
2
3
4
1
2
3
4
1
2
3
4
1
2
9
10
1
2
9
10
1
2
9
10
1
2
9
10
CN2 CN3 CN4 CN5 CN6 CN7
CN8 CN9
CN60
CN10
1
2
29
30
1
2
29
30
1
2
21
22
omron
1 8
3
4
6
5
1 6
3
4
1 6
3
4
CN11 CN12 CN13 CN14
CN15 CN16
CN17 CN18
CN20CN19
CN22CN21
CN23
CN24
CN25
CN26 CN27
CN28
CN29
CN31
CN30
CN32
CN36CN35CN34CN33
CN37 CN38 CN39 CN40
CN42CN41
CN43 CN44
CN51
CN45 CN46
CN53 CN54
CN47 CN48
CN55 CN56
CN49 CN50
CN57 CN58
INPUT（A）OUTPUT（A）
DUAL-A DUAL-A
INPUT（B）OUTPUT（B）
SINGLE/DUAL-B SINGLE/DUAL-B
S144
Y0938
Y0639
M66
Y0638
Y0939
装置正面
Fig_2-1S