JUKYX-193-5100_G5S2.pdf - 第75页

193-5100 JUKYX   2-2   記 号 名 称 記 号 名 称 S101F POWER ON PB( 前 ) S101B POWER ON PB( 後 ) S102F START( 前 ) S102B START( 後 ) H102F START( 前 )LED H102B START( 後 )LED S103F STOP( 前 ) S103B STOP( 後 ) S104F…

100%1 / 192
193-5100
JUKYX
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2-1
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 
記　　号 名　　　称 記　　号 名　　　称
M66
真空ポンプ
Y0638
真空 / 一括廃棄切替 Y0938
真空 / 一括廃棄切替
Y0639
高速 / 多機能切替 Y0939
高速 / 多機能切替
S141
エア圧低下検出
Q221
INPUT : 100-240VA 0.5 A 50/60Hz
HWS15 - 5 /A
OUTPUT : 5 V 3 A
R
1
2
7
8
IC1
L
E
D
8
(赤)
L
E
D
7
L
E
D
6
L
E
D
5
L
E
D
4
L
E
D
3
L
E
D
2
L
E
D
1
1
2
7
8
1
2
13
14
1
2
9
10
1
2
9
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9
10
1
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9
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1
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23
24
1
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5
6
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2
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2
13
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2
15
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2
9
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9
10
1
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9
10
1
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9
10
1
2
19
20
X1
1
2
3
4
1
2
3
4
1
2
9
10
1
2
9
10
1
2
25
26
1
2
25
26
1
2
25
26
1
2
25
26
SW1
123 4 5678
ON
1 6
3
4
1 6
3
4
1 6
3
4
1 6
3
4
1 6
3
4
1 6
3
4
X2
61
1
2
7
8
1
2
7
8
1
2
7
8
CN1
1
2
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8
1
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7
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1
2
9
10
1
2
9
10
1
2
9
10
CN2 CN3 CN4 CN5 CN6 CN7
CN8 CN9
CN60
CN10
1
2
29
30
1
2
29
30
1
2
21
22
omron
1 8
3
4
6
5
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3
4
1 6
3
4
CN11 CN12 CN13 CN14
CN15 CN16
CN17 CN18
CN20CN19
CN22CN21
CN23
CN24
CN25
CN26 CN27
CN28
CN29
CN31
CN30
CN32
CN36CN35CN34CN33
CN37 CN38 CN39 CN40
CN42CN41
CN43 CN44
CN51
CN45 CN46
CN53 CN54
CN47 CN48
CN55 CN56
CN49 CN50
CN57 CN58
INPUT（A）OUTPUT（A）
DUAL-A DUAL-A
INPUT（B）OUTPUT（B）
SINGLE/DUAL-B SINGLE/DUAL-B
S144
Y0938
Y0639
M66
Y0638
Y0939
装置正面
Fig_2-1S
193-5100
JUKYX
 
2-2
 
記　　号 名　　　称 記　　号 名　　　称
S101F POWER ON PB( 前 ) S101B POWER ON PB( 後 )
S102F START( 前 ) S102B START( 後 )
H102F START( 前 )LED H102B START( 後 )LED
S103F STOP( 前 ) S103B STOP( 後 )
S104F PNL CHANGE( 前 ) S104B PNL CHANGE( 後 )
H104AF PNL CHANGE( 前 )LED H104AB PNL CHANGE( 後 )LED
S105F 非常停止操作スイッチ ( 前 ) S105B 非常停止操作スイッチ ( 後 )
S101F
S101B
S103F
S103B
S102F
H102F
S102B
H102B
S105F
S105B
上段：前面
下段：後面
S104F
H104AF
S104B
H104AB
Fig_2-2S
193-5100
JUKYX
 
2-3
 
記　　号 名　　　称 記　　号 名　　　称
H1 タワー灯
H11F 材料表示灯 ( 前 ) H11B 材料表示灯（後）
S132 カバーロック ( 前側 ) S132 カバーロック ( 後側 )
M101 天井 ( 左 ) 冷却ファン M102 天井 ( 右 ) 冷却ファン
S111F READY( 前 ) [ フィーダ準備完了 ] S111B READY( 後 ) [ フィーダ準備完了 ]
S132（前側）
M102
H11F
H1
S132（後側）
H11B
M101
S111B
S111F
Fig_2-3S