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193-5100 JUKYX 2-1 1 記 号 名 称 記 号 名 称 M32 ノズル選択 (NS) モータ B0502 ノズル選択位置検出 M32 B0502 Fig_2-11S
193-5100
JUKYX
2-10
記 号 名 称 記 号 名 称
U37 スリップリング
M31 ヘッド回転 (DD) モータ
U04 サイドビューカメラ ( 投光 )
U03 サイドビューカメラ ( 受光 )
Y0601-Y0615 真空切替バルブ 1 〜 15
U37
Y0601-Y0615
U03
M31
U04
1.6x6
1.6x3
1.6x3
1.6x4 1.6x41.6x4 1.6x4
1.6x4
1.6x3 1.6x3
2x4
1.6x4
1.6x3
Fig_2-10S
193-5100
JUKYX
2-11
記 号 名 称 記 号 名 称
M32 ノズル選択 (NS) モータ
B0502 ノズル選択位置検出
M32
B0502
Fig_2-11S
193-5100
JUKYX
2-12
記 号 名 称 記 号 名 称
M34 ノズル上下 (NL) モータ
B0503 インターロックセンサ
B0503
M34
Fig_2-12S