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193-5100 JUKYX 2-5 記 号 名 称 記 号 名 称 M21 X 軸モータ U21 リニアスケールヘッド B36 基板認識カメラ E39 基板認識照明 U21 B36 M21 E39 Fig_2-5S
193-5100
JUKYX
2-4
記 号 名 称 記 号 名 称
M22 Y1 軸モータ
M23 Y2 軸モータ
U22 Y1 リニアスケールヘッド
U23 Y2 リニアスケールヘッド
B2201 Y 軸オーバーラン (+)
B2205 Y 軸オーバーラン (-)
U22
U23
M23
M22
U22
U23
M23
B2203
B2201
M22
Fig_2-4SA
193-5100
JUKYX
2-5
記 号 名 称 記 号 名 称
M21 X 軸モータ
U21 リニアスケールヘッド
B36 基板認識カメラ
E39 基板認識照明
U21
B36
M21
E39
Fig_2-5S
193-5100
JUKYX
2-6
記 号 名 称 記 号 名 称
Y6912 フィーダクランプ
B6913 フィーダクランプ下限（クランプ）
Y6912
B6913
Fig_2-6S