SM481_Administrator_s_Guide(Chi_Ver1).pdf - 第359页
12-57 Machine Calibration 7. 自动执行 Calibration 后完成 Calibration 则如下图 显示结果值， 请点击 < 下个 > 按 钮。 8. 显示 “ 下一步 , 把校校正工具从 H1 取下 , 点击 [ 下一步 ] 头将向下移动。 移 动完成 , 用手取下工具。 ” 消息。 为了在磁头 1 号的吸嘴支架手动 除去 CN400 吸嘴。 请点 击 < 下个 > 按钮。 9…
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3. 那么, Head Assembly移动到设备指定的位置后，拉下所有Z轴。此时，请手动除
去已帖装的所有吸嘴。
4. 显示”下一步，将标准工具粘贴在头部 1。点击[下一步 ]向下移动。移动后，手动
粘贴工具到首部。”消息。在磁头1号的吸嘴支架上手动安装CN400吸嘴后请点
击 <下个> 按钮。
5. 显示”移动到中心位置校正工具。移动，点击[下一步]。”
6. 显示”准备标准。对于标准，点击[下一步]” 消息。此时,点击 <亮度>按钮，在”
亮度控制”对话框中’SMVision’窗口显示的Calibration Tool上的Ficucial Mark明
显为止调整照明亮度后点击 <下个> 按钮。
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Machine Calibration
7. 自动执行 Calibration后完成 Calibration则如下图显示结果值，请点击 <下个> 按
钮。
8. 显示“下一步, 把校校正工具从H1取下, 点击[下一步]头将向下移动。移动完成,
用手取下工具。”消息。为了在磁头1号的吸嘴支架手动除去CN400吸嘴。 请点
击<下个 >按钮。
9. 请按照对磁头1的校正方法，同样地从Head 2~ 10执行校正。
10. 对所有磁头正常完成校正次序如下图显示结果值。要在设备中适用校正值请点
击<确定 >按钮。
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11. <Gantry>组合框中选择Gantry2后，与Gantry1相同的方式执行校正。
结果值可在Head Offset对话框中确认。