KE-2070_2080 MS参数..pdf - 第103页
Rev.1.00c MS 参数 4-9.2. 调整支撑台偏差 4-9-2-1． 功能 为了支撑台正常动作，演示基板厚度 ＝0 时的后备表的位置 。 4-9-2-2． 功能 本设定不使用治具 。 4-9-2-3． 操作 选择了 [ 偏差设定 （ Ｏ ）][ 传送偏差 （Ｒ ）][ 支撑台偏差 （Ｂ ）...] 之后，显示出下列支撑台偏差设定画面 。 ＜ 操作 ・１／３＞ 准备完毕，选择确认 。 选择确认之后，支撑台复位原点，移动到 测定位…
Rev.1.00c
MS 参数
＜操作・３／４＞
通过演示，求可动轨道内侧的 Y 坐标，然
后按 HOD 的确定键。
演示完毕，用求的 Y 坐标计算新的偏差
值。
准备完毕，选择确认。
＜操作・４／４＞
设定完毕。
选择了确认之后，返回到初期設置画面。
4-9-1-4．ＭＳＰ允许值
ＭＳＰ值不良时 Ｎｏ 项目 ＭＳＰ允许值
异常点 调整（检查）项目
１ 原点偏差值 ±３ｍｍ 原点复位动作不良
基板宽度自动调整设定不良
ＡＷＣ马达的组装
（原点传感器和变换器位置
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Rev.1.00c
MS 参数
4-9.2. 调整支撑台偏差
4-9-2-1．功能
为了支撑台正常动作，演示基板厚度＝0 时的后备表的位置。
4-9-2-2．功能
本设定不使用治具。
4-9-2-3．操作
选择了[偏差设定（
Ｏ）][传送偏差（Ｒ）][ 支撑台偏差（Ｂ）...]之后，显示出下列支撑台偏差设定画面。
＜操作・１／３＞
准备完毕，选择确认。
选择确认之后，支撑台复位原点，移动到
测定位置。
＜操作・２／３＞
通过演示，样支撑台上升，传送皮带在钳
夹用部件和接触的位置，按 HOD 的确定
键。
准备完毕，请选择确认。
＜操作・３／３＞
设定完毕。
选择确认之后，返回初期設置画面。
4-9-2-4．MSP 允许值
ＭＳＰ值不良时 Ｎｏ 项目 ＭＳＰ允许值
异常点 调整（检查）项目
１ 原点偏差 ±１ ２ｍｍ 原点复位动作不良
基板钳夹不良
支撑台的组装精度
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Rev.1.00c
MS 参数
4-10. 吸附基准位置偏差
4-10-1．吸附基准位置偏差
设定供料标记确认时的基准位置和计算吸附位置的初期值的基准位置。
4-10-2．使用治具
E6215705CB0：主供料器（用于 CTF）
4-10-3．操作
选择了[偏差设定（
Ｏ）] [吸附基准位置偏差（Ｉ）...]之后，显示出下面的调整吸取基准位置偏移的画面。
＜操作・１／９＞
请把主供料器安装到前侧的 1。
准备完毕，请选择确认。
选择了确认之后，OCC 移动到治具的标记
上。
＜操作・２／９＞
通过演示，把监视器的十字游标调整到标
记的中心，按 HOD 的确定键。
准备完毕，选择确认。
演示完毕，用求的坐标计算新的偏差。
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