KE-2070_2080 MS参数..pdf - 第121页
Rev.1.00c MS 参数 4-17.2. 自我校准 请选择维修 → 自我校准 、 设定组 → 真空校准 。 4-79
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MS 参数
＜操作・3／４（加压破坏情况）＞
选择了确认之后，测定加压破坏情况。确
认从真空状态打开鼓风电磁阀，贴装头的
真空传感器和 ATC 的真空传感器的测定
值如何变化。
正圧突入時間（V.CAL）
正圧突入時間（Head）
Head 的真空传感器不能正压测定，因此正压侧的曲线不能显示。
标准值如下所示。
Head
正压突入时间 6∼-12ms
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MS 参数
4-17.2. 自我校准
请选择维修 → 自我校准、设定组 → 真空校准。
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MS 参数
与 MS 参数一样，用设定贴装头选择测定的贴装头，按照操作程序进行操作。操作方法和显示画面
与 MS 参数基本相同。
自我校准，显示为故障解析值和生产使用值的 2 值。
故障解析值是 MS 参数取得的值，生产使用值是自我校准取得的值。
自我校准时，与 MS 参数相同，在真空达到情况、自然破坏情况以及加压破坏情况的各条件
压力变化显示后，比较故障解析值和生产使用值，进行故障分析。
有问题时，显示通知。根据通知实施对策。
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