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操作手册 3-5 1) 请确认没有漏气。 1 ）接通主机的电源后 ，请选择「手动控制」项 目，检查下列各 项目的动作状况。 ① 基板挡块部 ② ATC 单元 手动控制 「操作说明书 第 8 章 手动控制」 此功能用于确认各项 动作、检查传感器的开／关 。 检查项目 3-1- 3 管道及接头 实施频度 ：每周 检查内容 检查气压管道部分是否漏气 检查项目 3-1- 4 各单元气缸 实施频度 ：每周 检查内容 检查各气缸的动作 ＜左侧内 侧…
操作手册
3-4
更换间隔
：每2年更换1次。或压力下降达到约0.1MPa（1kgf／cm
2
）时。
更换方法
1）请关闭指状阀的旋纽。
2）请一面把滑动部向下降，一面将本体向左右某方向旋转 45 度，朝下拉出。
将固定过滤器零件 B 的树脂零件向左旋转，拆卸过滤器零件 B。将过滤器零件 A 本身向左旋转后拆下
过滤器零件 A。
3）安装时，请按照相反的步骤进行操作。
注意
在开始作业前，请关闭指状阀的旋纽。
1) 請確認待機狀態的最大负压表示，達到-86kPa。
2) 果低于-85 千帕，则需要更换真空发生器压力部分。
检查･更换 更换过滤器零件
更换标准 ：1 年
检查项目
3-1-2 真空发生器压力
实施频度 ：每天
检查内容 确认真空压力
打开状态
关闭状态
过滤器零件 A
PF901010000
过滤器零件 B
PF901006000
树脂零件
滑动部
-88.707
操作手册
3-5
1) 请确认没有漏气。
1）接通主机的电源后，请选择「手动控制」项目，检查下列各项目的动作状况。
① 基板挡块部
② ATC 单元
手动控制
「操作说明书 第 8 章 手动控制」
此功能用于确认各项动作、检查传感器的开／关。
检查项目
3-1-3 管道及接头
实施频度 ：每周
检查内容 检查气压管道部分是否漏气
检查项目
3-1-4 各单元气缸
实施频度 ：每周
检查内容 检查各气缸的动作
＜左侧内侧＞
检查漏气
指状阀
选择功能栏的「手动控
制」启动功能。
操作手册
3-6
1) 请目检确认 Head 单元正面部位过滤器箱内的「空气过滤器①」没有脏污。
2）请通过「过滤器脏污检查」确认没有问题。
检查过滤器脏污
「使用说明书 10-3-3-2 检查过滤器脏污」
执行结果若有问题，会显示提示，敦促更换。
3) 如果有脏污，请更换新的过滤器。
1)
把过滤器箱的「固定螺丝②」（ 左右 2 处）拧松，取下「过滤器箱 U①」。
2) 检查「过滤器③」有无脏污。
3)
若有脏污，请把「过滤器箱 L④」中的「过滤器③」更换下来。
4)
把「过滤器③」插入「过滤器箱 L④」， 要 插 紧，用「固定螺丝②」固定好。（紧固力矩：0.7 N·m）
此时，请确认「O 环 F2⑤」是否正好套进「过滤器箱 L④」的沟里。
5) 重新取得无吸嘴状态下的真空值。
检查项目
3-1-5 空气过滤器（LNC120-8 Head）
实施频度 ：每月
检查内容 检查空气过滤器脏污
更换 更换新的空气过滤器 使用工具 ：螺丝刀
更换标准： 6 个月
①
②
①
③
④
过滤器③ 件号：E3052729000
有突起。