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操作手册 3-7 1) 请检查传送带有无明显的磨损 、破损、松弛。 2) 如果有磨损、破损等,请更换 新的传送带。 1) 把安装在 AB 部位长孔中的调整传送 带松紧用的滑 轮松开。 2 ) 松开连接在 A 部分长孔上的皮 带张力 调节 滑轮 。 3 ) 请从传送皮带轮 上取下 传送带,并更换 下列零件编 号的 传送带。 基板 尺寸 CENTER IN ・ OUT 标准 选项 搬送扩张 150 搬送扩张 250 L 40001070 4…

操作手册
3-6
1) 请目检确认 Head 单元正面部位过滤器箱内的「空气过滤器①」没有脏污。
2)请通过「过滤器脏污检查」确认没有问题。
检查过滤器脏污
「使用说明书 10-3-3-2 检查过滤器脏污」
执行结果若有问题,会显示提示,敦促更换。
3) 如果有脏污,请更换新的过滤器。
1)
把过滤器箱的「固定螺丝②」( 左右 2 处)拧松,取下「过滤器箱 U①」。
2) 检查「过滤器③」有无脏污。
3)
若有脏污,请把「过滤器箱 L④」中的「过滤器③」更换下来。
4)
把「过滤器③」插入「过滤器箱 L④」, 要 插 紧,用「固定螺丝②」固定好。(紧固力矩:0.7 N·m)
此时,请确认「O 环 F2⑤」是否正好套进「过滤器箱 L④」的沟里。
5) 重新取得无吸嘴状态下的真空值。
检查项目
3-1-5 空气过滤器(LNC120-8 Head)
实施频度 :每月
检查内容 检查空气过滤器脏污
更换 更换新的空气过滤器 使用工具 :螺丝刀
更换标准: 6 个月
①
②
①
③
④
过滤器③ 件号:E3052729000
有突起。

操作手册
3-7
1) 请检查传送带有无明显的磨损、破损、松弛。
2) 如果有磨损、破损等,请更换新的传送带。
1) 把安装在 AB 部位长孔中的调整传送带松紧用的滑轮松开。
2) 松开连接在 A 部分长孔上的皮带张力调节滑轮。
3) 请从传送皮带轮上取下传送带,并更换下列零件编号的传送带。
基板尺寸 CENTER
IN・OUT
标准
选项
搬送扩张 150 搬送扩张 250
L 40001070
40000863 40011058
40011065
4) 调整传送带的张力。
①在传送带松弛的状态(传送带上没有张力)时,用油笔将两个标记附着在传送带的平坦部分上,距
离“B”为 200 mm。
②将 A 部分的输送带按照与 1)相反的顺序移动,以便拉紧输送带。
将传送轮固定在这两个标记变为 201 mm 的位置。
请注意不要通过在工作台部分上固定皮带张力来抬起传送带导轨 S
③安装完成后,请使用“手动控制”进行操作,确认没有异常噪音,断线等问题。
④请在一周内再次检查紧张情绪。
A
B
200mm
202mm
搬送ベルト
检查项目
3-1-6 传送带
实施频度 :每周
检查内容 检查传送带的磨损、破损、松弛
更换 更换传送带
使用工具:
螺丝刀、扳钳
更换标准 : 0.5 年
A
A
A
运输带

操作手册
3-8
1) 通过手动控制开动传送马达,检查滑轮旋转是否顺畅。
2) 若旋转不顺畅、或不旋转时,请更换滑轮。
1) 请抬起锁定手柄,在看得见■标记(锁定)的状态下,确认护罩能否保持。在确认中,请注意不要令
安全盖(安全罩)落下,以免造成伤害。
1) 请确认弯脚固定爪的前端。
2) 有磨耗、缺损等时请更换爪。
爪的类型 品号 使用数
001 40213864 2
002 40213865 2
检查项目
3-1-7 传送滑轮 ,输送辊
实施频度 : 每周
检查内容 检查传送滑轮的动作
检查项目
3-1-8 支撑板
实施频度 :每周
检查内容 检查支撑板的状态
检查项目
3-1-9 弯脚固定单元
实施频度 :每天
检查内容 确认爪的磨耗、缺损
锁定手柄
标记
锁
定
爪的前端