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第 1 章 清扫 第 3 部 XP-142E 机械手册 3-1-4 Edition 1.0 1.4 量规芯片元件的清扫 ( 每周 ) 要点 用于吸嘴旋转中心测定、 加载回馈补正等的量规芯片元件 被安装在规定的部位。 由于进行定 期的清扫，就可保证稳定的测定和补 正。 方法 警告 操作前请务必切断主电源。 使用柔软的毛刷 ( 照相机镜 头 清扫用 ) 等， 对两 面进行清扫。 XP1MC204S
第 3 部 第1章 清扫
Edition 1.0 3-1-3 XP-142E 机械手册
1.3 吸嘴内部的清扫 (每周)
要点
吸嘴用真空来吸取元件。因此，当大气中的灰尘和粘结剂等微小颗粒会成为容易吸附在吸嘴
内部，造成吸嘴堵塞的原因。
当吸嘴堵塞时，会引起吸元件的吸取率下降，所以当发现异常时或者定期地进行吸嘴内部的
清扫。
方法
请使用适当尺寸的捅针，排除吸嘴内的异物。
请用蘸过酒精的布擦拭吸嘴的前端进行清扫。
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第1章 清扫 第 3 部
XP-142E 机械手册 3-1-4 Edition 1.0
1.4 量规芯片元件的清扫 (每周)
要点
用于吸嘴旋转中心测定、加载回馈补正等的量规芯片元件被安装在规定的部位。由于进行定
期的清扫，就可保证稳定的测定和补正。
方法
警告
操作前请务必切断主电源。
使用柔软的毛刷(照相机镜头清扫用)等，对两面进行清扫。
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第 3 部 第1章 清扫
Edition 1.0 3-1-5 XP-142E 机械手册
1.5 真空泵用过滤器的清扫 (每周)
要点
为了防尘在真空泵里装有过滤器。
定期地对过滤器进行清扫、更换，使其能稳定地吸取元件。
方法
1. 拆下机器后侧(Side2)的 MFU。
2. 切断机器的电源。
警告
操作前请务必切断主电源。
3. 将真空配管内减压，并确认负压计的指针指在零的位置。
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4. 如下图所示，从机器后侧拆除盖板。
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