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第 1 章 清扫 第 3 部 XP-142E 机械手册 3-1-6 Edition 1.0 5. 拧松套环 ，取下 套环 和过 滤 器 罩 ， 拆 下过 滤 器部件。 XP1MC207S 6. 请用 压缩 空气等 吹去 粘附在过 滤 器部 件上的灰尘，或 更换新 的过 滤 器部件。 XP1MC208S
第 3 部 第1章 清扫
Edition 1.0 3-1-5 XP-142E 机械手册
1.5 真空泵用过滤器的清扫 (每周)
要点
为了防尘在真空泵里装有过滤器。
定期地对过滤器进行清扫、更换，使其能稳定地吸取元件。
方法
1. 拆下机器后侧(Side2)的 MFU。
2. 切断机器的电源。
警告
操作前请务必切断主电源。
3. 将真空配管内减压，并确认负压计的指针指在零的位置。
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4. 如下图所示，从机器后侧拆除盖板。
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第1章 清扫 第 3 部
XP-142E 机械手册 3-1-6 Edition 1.0
5. 拧松套环，取下套环和过滤器罩，拆下过滤器部件。
XP1MC207S
6. 请用压缩空气等吹去粘附在过滤器部件上的灰尘，或更换新的过滤器部件。
XP1MC208S
第 3 部 第1章 清扫
Edition 1.0 3-1-7 XP-142E 机械手册
1.6 机器内部的清扫(每周)
要点
随着机器的运转，有时在机器内部会散落有包括元件在内的异物。
请进行定期地清扫，以保持机器的清洁。
方法
警告
操作前请务必切断主电源。
1. 请使用刷子，把散乱在机器内的异物进行清除。
注意) 在机器内不能用压缩空气进行喷、吹等操作。细小的元件、异物会进入机器内部，有可
导致机器运转的故障。
2. 请将粘附在注油处以外的润滑油，用干布等擦拭干净。