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第 3 部 第 1 章 清扫 Edition 1.0 3-1-5 XP-142E 机械手册 1.5 真空 泵 用过 滤 器的清扫 ( 每周 ) 要点 为 了防 尘在真空 泵 里装有过 滤 器。 定期地 对 过 滤 器进行清扫、 更换 ，使 其能 稳定地吸 取元件。 方法 1. 拆 下机器后 侧 (Side2) 的 MFU 。 2. 切断机器的电源。 警告 操作前请务必切断主电源。 3. 将真空 配管 内 减压 ，并 确认负压计 的 指 …

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第1章 清扫 第 3 部
XP-142E 机械手册 3-1-4 Edition 1.0
1.4 量规芯片元件的清扫 (每周)
要点
用于吸嘴旋转中心测定、加载回馈补正等的量规芯片元件被安装在规定的部位。由于进行定
期的清扫，就可保证稳定的测定和补正。
方法
警告
操作前请务必切断主电源。
使用柔软的毛刷(照相机镜头清扫用)等，对两面进行清扫。
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第 3 部 第1章 清扫
Edition 1.0 3-1-5 XP-142E 机械手册
1.5 真空泵用过滤器的清扫 (每周)
要点
为了防尘在真空泵里装有过滤器。
定期地对过滤器进行清扫、更换，使其能稳定地吸取元件。
方法
1. 拆下机器后侧(Side2)的 MFU。
2. 切断机器的电源。
警告
操作前请务必切断主电源。
3. 将真空配管内减压，并确认负压计的指针指在零的位置。
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4. 如下图所示，从机器后侧拆除盖板。
　　　　　　　　　　　　　　
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第1章 清扫 第 3 部
XP-142E 机械手册 3-1-6 Edition 1.0
5. 拧松套环，取下套环和过滤器罩，拆下过滤器部件。
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6. 请用压缩空气等吹去粘附在过滤器部件上的灰尘，或更换新的过滤器部件。
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