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第 3 章 消耗 品 的 更换 第 3 部 XP-142E 机械手册 3-3-4 Edition 1.0 3.3 量规芯片元件吸取用的真空发 生 器的过 滤 器的 更 换 ( 每 年 ) 要点 为 了对 吸取量规芯片元件吸取用的真 空发 生 器 防 尘而内 置 过 滤 器。 定期地 更换 过 滤 器, 能 够 保证元件的稳定 性 。 方法 警告 操作前请务必切断主电源。 1. 反 时针 松动 过 滤 器并卸下。 2. 请 与 新 的过 …

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3 3 消耗更换
Edition 1.0 3-3-3 XP-142E 机械手册
5. 轨道传送带的。
6. 使用测量整固定位使轨道传送带的到规定的
轨道力公差值()425445Hz
测定位轨道传送带的动滑轮与张( 50mm)
的紧矩∶3.0N·m
XP1MR204S
3 消耗更换 3
XP-142E 机械手册 3-3-4 Edition 1.0
3.3 量规芯片元件吸取用的真空发器的过器的
()
要点
了对吸取量规芯片元件吸取用的真空发尘而内器。
定期地更换器,保证元件的稳定
方法
警告
操作前请务必切断主电源。
1. 时针松动器并卸下。
2. 的过更换
XP1MR205S
3 3 消耗更换
Edition 1.0 3-3-5 XP-142E 机械手册
XP1MR208S
3.4 定位相机更换
要点
定位相机的照或照明度时请更换
方法
1. MFU 时请卸下。
2. 按下[紧急停止]按钮,切断 200V 电源。
警告
操作前请务必按下紧急停止按钮,切断主电源。
3. 用手将贴装拉到容易操作的位(自己面前)
4. 板。
5. 按下[定位相机]确认哪个
6. 将不出。
7. 的照灯插入插,装上板。
备注) 用小镜子确认灯及的位,可率地更换