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Tg0984-ID-OP 7-19 3. 運転パラメータ 3.1 運転パラメータ設定 “運転パラメータ” タブシートの ［運転パラメータ設定］ タブを押すと、 以下のタブシートが表示されます。 各データの表示または入力が行えます。 Fig.G26“運転パラメータ設定”タブシート 3.運転パラメータ 081 1-008
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7-18-1
2.12基板高さ測定
“オフセットデータ”タブシートの [ 基板高さ測定 ] タブを押すと、
以下のタブシートが表示されます。
ノート
装置オプションで基板高さ測定の設定をしている場合に表示されま
す。
Fig.G25-2“基板高さ測定”タブシート
2.12基板高さ測定
0811-003
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3. 運転パラメータ
3.1 運転パラメータ設定
“運転パラメータ”タブシートの［運転パラメータ設定］タブを押すと、
以下のタブシートが表示されます。
各データの表示または入力が行えます。
Fig.G26“運転パラメータ設定”タブシート
3.運転パラメータ
0811-008
Tg0984-ID-OP
7-20
3.2 前後工程モード設定
“運転パラメータ”タブシートの［前後工程モード設定］タブを押すと、
以下のタブシートが表示されます。
各データの表示または入力が行えます。
Fig.G27“前後工程モード設定”タブシート
3.2前後工程モード設定
0811-008