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Tg0984-ID-OP 7-20 3.2 前後工程モード設定 “運転パラメータ” タブシートの［前後工程モード設定］タブを押すと、以下のタブシートが表示されます。  各データの表示または入力が行えます。 Fig.G27“前後工程モード設定”タブシート 3.2前後工程モード設定 081 1-008

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3. 運転パラメータ

3.1 運転パラメータ設定

“運転パラメータ”タブシートの［運転パラメータ設定］タブを押すと、

以下のタブシートが表示されます。

各データの表示または入力が行えます。

Fig.G26“運転パラメータ設定”タブシート

3.運転パラメータ

0811-008

Tg0984-ID-OP

7-20

3.2 前後工程モード設定

“運転パラメータ”タブシートの［前後工程モード設定］タブを押すと、

以下のタブシートが表示されます。

各データの表示または入力が行えます。

Fig.G27“前後工程モード設定”タブシート

3.2前後工程モード設定

0811-008

Tg0984-ID-OP

7-21

3.3 トレイマトリクス更新設定

“運転パラメータ”タブシートの［トレイマトリクス更新設定］タブ

を押すと、以下のタブシートが表示されます。

各データの表示または入力が行えます。

ノート

装置オプションでトレイを選択している場合に表示されます。

Fig.G28“トレイマトリクス更新設定”タブシート

3.3トレイマトリクス更新設定

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