SP18 参考手册.pdf - 第66页
SP18P-L 参考手册 1.7 基板吸着盒 Page 1-28 1.7.5 前侧基准顺流设计示例 ( 单位 : mm) EJP1A-C-RMA01-A05-00 EJP1A-956C EJP1A-954C
SP18P-L
参考手册
1.7
基板吸着盒
Page 1-27
1.7.4
顶板设计示例
(
前侧基准
)
设计条件
1)
基板尺寸
: (L) 408 mm
×
(W) 182 mm
2)
基板流向
:
左
→
右流向
3)
基板定位基准
:
前侧基准、中心基准
4)
使用盒类型
:
类型
A
(
单位
: mm)
仅限于
SP18P-L
使用
(
或者仅限与
SP28P-DH
以后的机种共用
)
时不用保留传感器离开的
空间
(
∗
部
)
。
EJP1A-953C
EJP1A-C-RMA01-A05-00
SP18P-L
参考手册
1.7
基板吸着盒
Page 1-28
1.7.5
前侧基准顺流设计示例
(
单位
: mm)
EJP1A-C-RMA01-A05-00
EJP1A-956C
EJP1A-954C
SP18P-L
参考手册
1.7
基板吸着盒
Page 1-29
L
尺寸
(
单位
: mm)
EJP1A-C-RMA01-A05-00
EJP1A-955C