JX-300LED_维修调整要领书.pdf - 第99页
Rev 1.0 维修调整要领书 9-4 9-3 ． 真空计的更换 １） 请确认真空泵未在运行。 ２） 请取下护罩 FB 。 ３） 请从真空计上取下φ６空气管。 ４） 旋转真空计背面的树脂部件，卸下真空计。 ５） 装配时请按照相反的顺序进行。 面板 真空计 树脂固定部件
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9-3
9-2．滤清器的更换
１） 以便把滑动部下降，以便把主体向左或右转动４５度然后拔下来三。
２） 更换空气滤清器侧的滤清器Ｂ时，向左转动固定滤清器Ｂ的树脂零件就可以卸下来。
３） 更换喷雾器侧的滤清器Ａ时，把滤清器Ａ向左转动就可以卸下来。
４） 安装时，请按照相反的程序进行。
注) 作业之前，请关闭蝶阀。
滤清器的寿命为 2 年或压力下降到０．１ＭＰａ（１ｋｇｆ／ｃ㎡）后
腎賑陀賠匂
島零匂
PF901006000
陀賠匂B
PF901002000
陀賠匂A
峯妛巣周
錆強何
滑动部
树脂零件
滤清器Ａ
滤清器Ｂ
空气滤清器
喷雾器
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9-3．真空计的更换
１） 请确认真空泵未在运行。
２） 请取下护罩 FB。
３） 请从真空计上取下φ６空气管。
４） 旋转真空计背面的树脂部件，卸下真空计。
５） 装配时请按照相反的顺序进行。
面板
真空计
树脂固定部件
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9-4．真空泵部件的更换
使用开始 9 个月后基本上应更换下列消耗部件。请参照以下操作顺序进行更换、擦洗。
表 1 的零件全部包含在 40099554 VACUUM PUMP MAINTENANCE KIT 内。（关于形状等请参阅 P. 9-9）
表 1 消耗部件一览（40099554 VACCUM_PUMP_MAINTENANCE_KIT）
检查部位 使用数量 检查内容 检查方法
皮碗式密封件 2 有无异常磨损、硬化、龟裂等 目检
吸气阀 2 有无变形、硬化、缺损 目检
排气阀 2 有无变形、硬化、缺损 目检
O环 S-67 2 有无变形、磨损、硬化、龟裂等 目检
O环 P-10 4 有无变形、磨损、硬化、龟裂等 目检
密封垫圈 2 有无变形、硬化、龟裂等 目检
吸气阀防干扰橡胶 2 有无裂痕、硬化 目检
○更换准备
１)
请确认真空泵没有运行。
※ 真空泵运行后泵内部会发热，
必须停止，放置约 30 分钟，确认泵已经冷却后，
才可开始进行更换、清扫作业。
２) 请拆下主体正面的外罩。
拆下电源、地线
３)
拆下连接真空泵的气管、再拆下线綑(电源、地线)、
把固定 VAC_PUMP_PLATE 的六角凹头螺栓 (M4×8)
拆下来。
真空泵
M4×8 螺钉
VAC_PUMP_PLATE
４) 把真空泵从主体中取出。 (取出时，请注意线綑。)
○更换密封垫圈
１) 卸下泵头罩②上的 4 根(共 8 根)六角凹头螺栓 (M5×20)⑯。
２) 卸下泵头罩内侧的黑色密封垫圈⑪(共 2 个)，换上新的密封垫圈。
３) 固定泵头罩用的六角凹头螺栓(M5×20)，以 5.0N・m 対角拧紧。
※ 确认密封垫圈套在泵头罩的密封垫圈槽里，注意不要被咬在泵头罩和盘子之间。
图 9-4-1 卸下泵头罩 图 9-4-2 卸下密封垫圈