JM-20_MS参数.pdf - 第143页
MS 参数 7-5 ＜操作⑫ 3/4 ＞ 松开用于固定 OCC 的螺丝 ，上下移动，将 高度调整到当前值 基本达到最大的 位置上， 调整完成后，选择 “ 确认 ” 。 ＜操作⑫ 4/4 ＞ 选择 “ 确认 ” 后，会 显示 上述操作内容。再选择 “确认”， 即返还初始 画面 。
MS
参数
7-4
在「选择设备」中，只能选择DFFP VCS。
「照明值设置」项目中的同轴落射照明、下方照明及侧向照明的光量如下表所示状态。。
照明种类 光量值
同轴照射照明 0
下方照明 200
侧面照明（蓝） 0
侧面照明（红） 0
※初始值的设置如上所述。
＜操作⑫1/4＞
请在VCS上安装VCS-HT工具。完成准备后，请按下确认。
＜操作⑫2/4＞
请在VCS-HT工具上安装对焦调整用工具板。
此时，如下图所示，请使显示器上显示的线纵向排列。
MS
参数
7-5
＜操作⑫3/4＞
松开用于固定OCC的螺丝，上下移动，将高度调整到当前值基本达到最大的位置上，
调整完成后，选择“确认”。
＜操作⑫4/4＞
选择“确认”后，会显示上述操作内容。再选择“确认”，即返还初始画面。
MS
参数
7-6
7-3 VAC-CAL
偏移量（真空校准偏移量）
7-3-1
功能
进行VAC-CAL（真空校准）装配位置的设置。
7-3-2
使用夹具
本项目中不使用夹具。
7-3-3
操作
从菜单中选择“调整确认（C）”－“真空-校准偏移量（V）”，会显示以下对话框。