JM-20_MS参数.pdf - 第146页
MS 参数 7-8 7- 4 真空校准 7-4- 1 功能 对出厂前在工厂内取得 MS 参数的真 空值， 与以真空校准取得 的当前的装置值 作比较， 进行故 障解析。 以 MS 参数取得 真空值的操作一 般仅在工 厂内 进行，不必重新取得。 7-4- 2 使用夹具 本项目中不使用夹具。 7-4- 3 操作 从 MS 参数菜单中选择 “ 调整确认（ C ） ” － “ 真空校准（ U ） ” ，会显示以下对话框 。
MS
参数
7-7
＜操作⑫1/3＞
选择要调整的设备后，按下“操作”框内的“确认”按钮。“确认”按钮被按下后，
OCC向真空校准位置移动。
＜操作⑫2/3＞
利用示教设定真空校准的位置，按下“确认”按钮后，真空校准的位置被更新。
＜操作⑫3/3＞
调整结束后，将显示上述操作内容。选择“确认”，即返还初始画面。
MS
参数
7-8
7-4
真空校准
7-4-1
功能
对出厂前在工厂内取得MS参数的真空值，与以真空校准取得的当前的装置值作比较，进行故
障解析。
以MS参数取得真空值的操作一般仅在工厂内进行，不必重新取得。
7-4-2
使用夹具
本项目中不使用夹具。
7-4-3
操作
从MS参数菜单中选择“调整确认（C）”－“真空校准（U）”，会显示以下对话框。
MS
参数
7-9
＜操作⑫1/5＞
如Head上安装有吸嘴，请用简易控制卸下吸嘴。
按下“操作”框内的确认按钮后，即测定“到达真空状况”。
计测结束后，会显示以下图表。