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MS 参数 7-9 ＜操作⑫ 1/5 ＞ 如 Head 上安装有吸嘴， 请用简易控 制卸下吸嘴。 按下 “ 操作 ” 框内的 确认按钮 后，即测定 “ 到达真空 状况 ” 。 计测结束后，会显示以 下图表。
MS
参数
7-8
7-4
真空校准
7-4-1
功能
对出厂前在工厂内取得MS参数的真空值，与以真空校准取得的当前的装置值作比较，进行故
障解析。
以MS参数取得真空值的操作一般仅在工厂内进行，不必重新取得。
7-4-2
使用夹具
本项目中不使用夹具。
7-4-3
操作
从MS参数菜单中选择“调整确认（C）”－“真空校准（U）”，会显示以下对话框。
MS
参数
7-9
＜操作⑫1/5＞
如Head上安装有吸嘴，请用简易控制卸下吸嘴。
按下“操作”框内的确认按钮后，即测定“到达真空状况”。
计测结束后，会显示以下图表。
MS
参数
7-10
＜操作⑫2/5＞
“到达真空状况”的测定结束后，按下“确认”按钮，测定“自然破坏状况”。
计测结束后，会显示以下图表。