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Tg0854-PM-ER ( 要因 1 ) 装置の自己診断によるメッセージです。 ( 要 因 1 の復帰方法 ) 復帰手順 ( 1 )[ 警報解除 ] キーを押し、ブザー音を停止させてください。 (2) L コンベア上の不適切な位置の基板を取り除いてください。 (3) [ 全原点復帰 ] ボタンで原点復帰を行ってください。 (4) 運転を再開してください。 (5) 運転が再開できない場合は、当社サービス員にご連絡ください。 62 07 …
Tg0854-PM-ER
62 07 02 L コンベア 基板検出 後工程への基板排出が完了する前に後工程ワーク要求信
号が切れました。
(要因 1) 装置の自己診断によるメッセージです。
(要因 1 の復帰方法)
復帰手順
(1)[警報解除]キーを押し、ブザー音を停止させてください。
(2) L コンベア上で基板が停滞していないか、後工程装置に異常がないか確認してくだ
さい。
(3) [全原点復帰] ボタンで原点復帰を行ってください。
(4) 運転を再開してください。
(5) 運転が再開できない場合は、当社サービス員にご連絡ください。
0304-001 2-114
異常コード異常コード
異常コード異常コード
異常コード
AA
AA
A
部表示部表示
部表示部表示
部表示
BB
BB
B
部表示部表示
部表示部表示
部表示
3. 異常表示からのトラブルシューティング
62 07 01 L コンベア 基板検出 基板検出 L (右) を検出前に前工程ワーク要求信号が切
れました。
(要因 1) 装置の自己診断によるメッセージです。
(要因 1 の復帰方法)
復帰手順
(1)[警報解除]キーを押し、ブザー音を停止させてください。
(2) L コンベア上で基板が停滞していないか、前工程装置に異常がないか確認してくだ
さい。
(3) [全原点復帰] ボタンで原点復帰を行ってください。
(4) 運転を再開してください。
(5) 運転が再開できない場合は、当社サービス員にご連絡ください。
62 07 03 L コンベア 基板検出 Lコンベア (入口) で基板が停滞しています。
(要因 1) コンベア上で基板が引っかかっていることが考えられます。
(要因 2) コンベア幅の調整不良が考えられます。
(要因 3) 基板寸法がおかしいことが考えられます。
(要因 4) 基板が搬送されている途中で、人が基板を抜き取りました。
(要因 1、2、3、4 の復帰方法)
復帰手順
(1)[警報解除]キーを押し、ブザー音を停止させてください。
(2) L コンベア入口の基板を取り除いてください。
(3) [全原点復帰] ボタンで原点復帰を行ってください。
(4) 運転を再開してください。
(5) 運転が再開できない場合は、当社サービス員にご連絡ください。
Tg0854-PM-ER
(要因 1) 装置の自己診断によるメッセージです。
(要因 1 の復帰方法)
復帰手順
(1)[警報解除]キーを押し、ブザー音を停止させてください。
(2) L コンベア上の不適切な位置の基板を取り除いてください。
(3) [全原点復帰] ボタンで原点復帰を行ってください。
(4) 運転を再開してください。
(5) 運転が再開できない場合は、当社サービス員にご連絡ください。
62 07 06 L コンベア 基板検出 Lコンベア上に不適切な基板が存在します。
(要因 1) コンベア上で基板が引っかかっていることが考えられます。
(要因 2) コンベア幅の調整不良が考えられます。
(要因 3) 基板寸法が大きいことが考えられます。
(要因 4) 基板が搬送されている途中で、人が基板を抜き取りました。
(要因 1、2、3、4 の復帰方法)
復帰手順
(1)[警報解除]キーを押し、ブザー音を停止させてください。
(2) L コンベア上の基板を取り除いてください。
(3) [全原点復帰] ボタンで原点復帰を行ってください。
(4) 運転を再開してください。
(5) 運転が再開できない場合は、当社サービス員にご連絡ください。
0304-001 2-115
異常コード異常コード
異常コード異常コード
異常コード
AA
AA
A
部表示部表示
部表示部表示
部表示
BB
BB
B
部表示部表示
部表示部表示
部表示
3. 異常表示からのトラブルシューティング
(要因 1) 装置の自己診断によるメッセージです。
(要因 1 の復帰方法)
復帰手順
(1)[警報解除]キーを押し、ブザー音を停止させてください。
(2) L コンベア上の不適切な位置の基板を取り除いてください。
(3) [全原点復帰] ボタンで原点復帰を行ってください。
(4) 運転を再開してください。
(5) 運転が再開できない場合は、当社サービス員にご連絡ください。
62 07 04 L コンベア 基板検出 L コンベア上に基板が 2 枚あります。
62 07 05 L コンベア 基板検出 Lコンベア上で基板が停滞しました。
Tg0854-PM-ER0304-001 2-116
異常コード異常コード
異常コード異常コード
異常コード
AA
AA
A
部表示部表示
部表示部表示
部表示
BB
BB
B
部表示部表示
部表示部表示
部表示
3. 異常表示からのトラブルシューティング
62 07 07 L コンベア 基板検出 Lコンベア上から適切な基板が取り除かれました。
(要因 1) 装置の自己診断によるメッセージです。
(要因 1 の復帰方法)
復帰手順
(1)[警報解除] キーを押し、ブザー音を停止させてください。
(2) Lコンベア上からの基板落下がないか確認してください。
(3) [全原点復帰] ボタンで原点復帰を行ってください。
(4) 運転を再開してください。
(5) 運転が再開できない場合は、当社サービス員にご連絡ください。
62 07 08 L コンベア 基板検出 基板検出 L (右) を検出前にELコンベアからの基板搬
送が中断されました。
(要因 1) 装置の自己診断によるメッセージです。
(要因 1 の復帰方法)
復帰手順
(1)[警報解除] キーを押し、ブザー音を停止させてください。
(2) L コンベア上で基板が停滞していないか、EL コンベアに異常がないか確認してくださ
い。
(3) [全原点復帰] ボタンで原点復帰を行ってください。
(4) 運転を再開してください。
(5) 運転が再開できない場合は、当社サービス員にご連絡ください。