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Tg0854-PM-ER 62 07 09 L コンベア 基板検出 基板排出完了前に P コンベアの基板搬送が中断されまし た。 ( 要因 1 ) 装置の自己診断によるメッセージです。 ( 要因 1 の復帰方法 ) 復帰手順 ( 1 )[ 警報解除 ] キーを押し、 ブザー音を停止させてください。 (2) L コンベア上で基板が停滞していないか、 P コンベアに異常がないか確認してくださ い。 (3) [ 全原点復帰 ] ボタンで原点復…

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Tg0854-PM-ER0304-001 2-116
異常コード異常コード
異常コード異常コード
異常コード
AA
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A
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BB
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B
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3. 異常表示からのトラブルシューティング
62 07 07 L コンベア 基板検出 Lコンベア上から適切な基板が取り除かれました。
(要因 1) 装置の自己診断によるメッセージです。
(要因 1 の復帰方法)
復帰手順
(1)[警報解除] キーを押し、ブザー音を停止させてください。
(2) Lコンベア上からの基板落下がないか確認してください。
(3) [全原点復帰] ボタンで原点復帰を行ってください。
(4) 運転を再開してください。
(5) 運転が再開できない場合は、当社サービス員にご連絡ください。
62 07 08 L コンベア 基板検出 基板検出 L (右) を検出前にELコンベアからの基板搬
送が中断されました。
(要因 1) 装置の自己診断によるメッセージです。
(要因 1 の復帰方法)
復帰手順
(1)[警報解除] キーを押し、ブザー音を停止させてください。
(2) L コンベア上で基板が停滞していないか、EL コンベアに異常がないか確認してくださ
い。
(3) [全原点復帰] ボタンで原点復帰を行ってください。
(4) 運転を再開してください。
(5) 運転が再開できない場合は、当社サービス員にご連絡ください。
Tg0854-PM-ER
62 07 09 L コンベア 基板検出 基板排出完了前にPコンベアの基板搬送が中断されまし
た。
(要因 1) 装置の自己診断によるメッセージです。
(要因 1 の復帰方法)
復帰手順
(1)[警報解除]キーを押し、ブザー音を停止させてください。
(2) L コンベア上で基板が停滞していないか、P コンベアに異常がないか確認してくださ
い。
(3) [全原点復帰] ボタンで原点復帰を行ってください。
(4) 運転を再開してください。
(5) 運転が再開できない場合は、当社サービス員にご連絡ください。
0304-001 2-117
異常コード異常コード
異常コード異常コード
異常コード
AA
AA
A
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BB
BB
B
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3. 異常表示からのトラブルシューティング
(要因 1) 装置の自己診断によるメッセージです。
(要因 1 の復帰方法)
復帰手順
(1)[警報解除]キーを押し、ブザー音を停止させてください。
(2) L コンベア上で基板が停滞していないか、P コンベアに異常がないか確認してくださ
い。
(3) [全原点復帰] ボタンで原点復帰を行ってください。
(4) 運転を再開してください。
(5) 運転が再開できない場合は、当社サービス員にご連絡ください。
62 07 10Lコンベア 基板検出 基板受け取り完了前にPコンベアからの基板搬送が中断
されました。
Tg0854-PM-ER
0304-001 2-118
異常コード異常コード
異常コード異常コード
異常コード
AA
AA
A
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部表示
BB
BB
B
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3. 異常表示からのトラブルシューティング
62 08 01 P コンベア 基板検出 Pコンベア上で基板が停滞しました。
(要因 1) コンベア上で基板が引っかかっています。
(要因 2) コンベア幅の調整不良が考えられます。
(要因 3) 基板寸法が大きいことが考えられます。
(要因 4) 基板が搬送されている途中で、人が基板を抜き取りました。
(要因 1、2、3、4 の復帰方法)
復帰手順
(1)[警報解除]キーを押し、ブザー音を停止させてください。
(2) Pコンベア上の基板を取り除いてください。
(3) コンベア・基板を確認します。
(4) [全原点復帰] ボタンで原点復帰を行ってください。
(5) 運転を再開してください。
(6) 運転が再開できない場合は、当社サービス員にご連絡ください。
62 08 02 P コンベア 基板検出 Pコンベア上に不適切な基板が存在します。
(要因 1) 装置の自己診断によるメッセージです。
(要因 1 の復帰方法)
復帰手順
(1)[警報解除]キーを押し、ブザー音を停止させてください。
(2) Pコンベア上の不適切な位置の基板を取り除いてください。
(3) [全原点復帰] ボタンで原点復帰を行ってください。
(4) 運転を再開してください。
(5) 運転が再開できない場合は、当社サービス員にご連絡ください。
62 08 03 P コンベア 基板検出 Pコンベア上から適切な基板が取り除かれました。
(要因 1) 装置の自己診断によるメッセージです。
(要因 1 の復帰方法)
復帰手順
(1)[警報解除]キーを押し、ブザー音を停止させてください。
(2) Pコンベア上からの基板落下がないか確認してください。
(3) [全原点復帰] ボタンで原点復帰を行ってください。
(4) 運転を再開してください。
(5) 運転が再開できない場合は、当社サービス員にご連絡ください。