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Tg0854-PM-ER 0304-001 2-128 異常コード 異常コード 異常コード 異常コード 異常コード A A A A A 部表示 部表示 部表示 部表示 部表示 B B B B B 部表示 部表示 部表示 部表示 部表示 3. 異常表示からのトラブルシューティング 68 04 0 1 部品認識異常 ( 認識処理 ) ( 要因 1 ) 装置の自己診断によるメッセージです。 ( 要因 1 の復帰方法 ) 復帰手順 ( 1 )[…
Tg0854-PM-ER
異常コード異常コード
異常コード異常コード
異常コード
AA
AA
A
部表示部表示
部表示部表示
部表示
BB
BB
B
部表示部表示
部表示部表示
部表示
0304-001 2-127
3. 異常表示からのトラブルシューティング
(要因 1) 装置の自己診断によるメッセージです。
(要因 1 の復帰方法)
復帰手順
(1)[全原点復帰] ボタンで原点復帰を行ってください。
(2) 運転を再開してください。
(3) 運転が再開できない場合は、当社サービス員にご連絡ください。
66 09 XX 個々基板認識 4点目
XXXXXXXX
(要因 1) 装置の自己診断によるメッセージです。
(要因 1 の復帰方法)
復帰手順
(1)[全原点復帰] ボタンで原点復帰を行ってください。
(2) 運転を再開してください。
(3) 運転が再開できない場合は、当社サービス員にご連絡ください。
注：詳細は“4 節 部品認識”を参照してください。
67 01 01 部品認識
XXXXXXX
Tg0854-PM-ER0304-001 2-128
異常コード異常コード
異常コード異常コード
異常コード
AA
AA
A
部表示部表示
部表示部表示
部表示
BB
BB
B
部表示部表示
部表示部表示
部表示
3. 異常表示からのトラブルシューティング
68 04 01 部品認識異常 (認識処理)
(要因 1) 装置の自己診断によるメッセージです。
(要因 1 の復帰方法)
復帰手順
(1)[全原点復帰] ボタンで原点復帰を行ってください。
(2) 運転を再開してください。
(3) 運転が再開できない場合は、当社サービス員にご連絡ください。
68 03 01 部品なし (認識異常)
(要因 1) 装置の自己診断によるメッセージです。
(要因 1 の復帰方法)
復帰手順
(1)[全原点復帰] ボタンで原点復帰を行ってください。
(2) 運転を再開してください。
(3) 運転が再開できない場合は、当社サービス員にご連絡ください。
68 02 01 部品有無検出 センサ異常
(要因 1) 装置の自己診断によるメッセージです。
(要因 1 の復帰方法)
復帰手順
(1)[全原点復帰] ボタンで原点復帰を行ってください。
(2) 運転を再開してください。
(3) 運転が再開できない場合は、当社サービス員にご連絡ください。
68 01 01 部品なし (センサ)
(要因 1) 装置の自己診断によるメッセージです。
(要因 1 の復帰方法)
復帰手順
(1)[全原点復帰] ボタンで原点復帰を行ってください。
(2) 運転を再開してください。
(3) 運転が再開できない場合は、当社サービス員にご連絡ください。
Tg0854-PM-ER0304-001 2-129
異常コード異常コード
異常コード異常コード
異常コード
AA
AA
A
部表示部表示
部表示部表示
部表示
BB
BB
B
部表示部表示
部表示部表示
部表示
3. 異常表示からのトラブルシューティング
68 07 01 部品切れ発生 (フィーダオルタ
ネート)
(要因 1) 装置の自己診断によるメッセージです。
(要因 1 の復帰方法)
復帰手順
(1)[全原点復帰] ボタンで原点復帰を行ってください。
(2) 運転を再開してください。
(3) 運転が再開できない場合は、当社サービス員にご連絡ください。
68 05 01 部品切れ発生
(要因 1) 装置の自己診断によるメッセージです。
(要因 1 の復帰方法)
復帰手順
(1)[全原点復帰] ボタンで原点復帰を行ってください。
(2) 運転を再開してください。
(3) 運転が再開できない場合は、当社サービス員にご連絡ください。