RX-6_6B_6R_OperationManual1_Rev02_C.pdf - 第37页
操作手册 I 3-22 Step6 执行生产。 在“基板生产”画面中设置“生产计划数量” ,按下[开始开关]后,即开始生产。 警告 按下 [开始开关] 后,装置即开始移动。 为避免人身伤害,请绝对不要把手或头部等伸入装置内部。 要使用 IFS-NX 的选项功能时,需要在生产开始前完成元件核对工作。在未完成 元件核对工作的情况下按下开始开关时,会显示警告画面,不能开始生产。 2. 输入「生产计划数量」 。 设置用 IS 的生产计划数量时,…

操作手册 I
3-21
(2) VCS 脏污检查
生产开始前,检查图像识别摄像机的视野内是否脏污或有异物。
1. 请按下「VCS 弄脏检查」。
2.
①通过「选择设备」选择[R]、[F]。
②按下[执行检查]。
③确认状态是否为正常。
*发现“脏污”时,请按照『操作手册 II』
的「 第 3 章 维护」进行 VCS 的清扫。
①
③
②

操作手册 I
3-22
Step6 执行生产。
在“基板生产”画面中设置“生产计划数量”,按下[开始开关]后,即开始生产。
警告
按下[开始开关]后,装置即开始移动。
为避免人身伤害,请绝对不要把手或头部等伸入装置内部。
要使用 IFS-NX 的选项功能时,需要在生产开始前完成元件核对工作。在未完成
元件核对工作的情况下按下开始开关时,会显示警告画面,不能开始生产。
2. 输入「生产计划数量」。
设置用 IS 的生产计划数量时,会自动
设置计划数量。
不能输入。
3.按下[开始开关]后,开始生产。
1.
按下「确定」按钮,准备工作的各项
支援作业即告完成。

操作手册 I
3-23
5.在暂停状态下按[停止开关]后
会显示中断画面。
出现:生产重新开始
生产中断
4. 生产中按[停止开关],会进入暂停
状态。
停止开关
*为了避免故障,
要进行安全罩的开闭时,
请按[安全罩解除锁定]按钮。
生产重新开始
生产中断