RX-6_6B_6R_OperationManual1_Rev02_C.pdf - 第87页
操作手册 I 4- 47 6) 从主机里取出真空泵。 ※ 取出时,请一边向①前方拉出的同时向②后方斜倾倒,保持这种状态向③前方拉出。 ※ 拆下真空泵时请勿握住连接管。 连接管 六角头螺栓( M6 ×2 )

操作手册 I
4-46
5) 卸下与真空泵连接的空气管子、电源连接器,松开用来固定真空泵托架的内六角螺栓(M6×2),卸
下泵支架。
六角凹头螺栓(M6×2)
泵支架
气管
电源接头

操作手册 I
4-47
6) 从主机里取出真空泵。
※ 取出时,请一边向①前方拉出的同时向②后方斜倾倒,保持这种状态向③前方拉出。
※ 拆下真空泵时请勿握住连接管。
连接管
六角头螺栓(M6×2)

操作手册 I
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●更换密封圈
1) 取下泵头盖的 4 个(左右合计共 8 个)内六角螺栓(M6×95)。
2) 取下泵头盖内侧的黑色密封圈,共 2 个,更换上新的密封圈。
※请确认密封圈完全放入泵头盖的密封垫圈槽内。
3) 请用 5.0N・m 的力对角拧紧固定泵头盖用的内六角螺栓(M6×95),使其关闭。
※更换其它消耗零件时,请不要关闭盖(罩),参照各部位的更换步骤操作。
●更换 O 环 P-10
1) 用与更换密封圈相同的要领,卸下泵头盖、连接管。
2) 把 O 环 P-10 安装到位于连接泵头盖之间的连接管。
3) 进行更换,插入连接管时请注意不要划伤 O 环。(1 根管内两侧有 2 处)
※更换前,请清扫连接管的 O 环沟、泵头的连接管安装孔。盖(罩)的安装,请按照密封圈的更换
顺序进行操作。在更换其它消耗零件时,请不要关闭盖(罩),参照各部位的更换步骤操作。
泵头盖内侧
O
环
P-10
密封圈
连接管
内六角螺栓(M6×95)
泵头盖