RX-6_6B_6R_OperationManual1_Rev02_C.pdf - 第86页
操作手册 I 4- 46 5) 卸下与真空泵连接的空气管子、 电源连接器， 松开用来固定真空泵托架的内六角螺栓 (M6×2) ，卸 下泵支架。 六角凹头螺栓（ M6 ×2 ） 泵支架 气管 电源接头
操作手册 I
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由于损耗，可能造成以下零件压力降低。
<损耗零件一览>
更换零件组
件号：40138045
检查部位 使用数量 检查内容 检查方法
碗形密封垫圈 2 有无异常磨损、硬化、龟裂等现象 目检
气缸密封圈 2 有无变形、硬化、龟裂等 目检
吸排气阀 2 有无变形、硬化、缺损 目检
O 环 S-67 2 有无变形、磨损、硬化、龟裂等 目检
Head 密封圈 2 有无变形、硬化、龟裂等 目检
●真空泵的更换准备
1) 请按照前一项的「切带单元的更换」，拆下下部排出导轨。
2) 确认真空泵没有运转。（刚停止运转后泵内部会很热，请停止后放置 30 分钟左右，确认泵冷却之后再
开始作业。）
3) 请拆下机器主机后侧中央下部的安全盖（安全罩）。
4) 请拔下安全盖（安全罩）内侧风扇的插头。
检查・更换
4-7-2 真空泵零件的更换
使用工具 ：
六角扳手、螺丝刀
更换周期 ：1 年
风扇
风扇
安全盖
（螺钉×7）
操作手册 I
4-46
5) 卸下与真空泵连接的空气管子、电源连接器，松开用来固定真空泵托架的内六角螺栓(M6×2)，卸
下泵支架。
六角凹头螺栓（M6×2）
泵支架
气管
电源接头
操作手册 I
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6) 从主机里取出真空泵。
※ 取出时，请一边向①前方拉出的同时向②后方斜倾倒，保持这种状态向③前方拉出。
※ 拆下真空泵时请勿握住连接管。
连接管
六角头螺栓（M6×2）