RX-6_6B_6R_OperationManual1_Rev02_C.pdf - 第91页
操作手册 I 4- 51 真空泵分解图 No. 名称 No. 名称 1 内六角螺栓（ M6×95 ） 8 根 10 气缸密封圈 2 泵头盖 1 11 气缸 3 连接管 12 内六角螺栓（ M8×20 ） 4 Ｏ环 P- 10 13 碗型密封圈压板 5 泵头盖 2 14 碗型密封圈 6 密封圈 15 连杆 7 阀挡板 8 吸排气阀 9 气缸板
操作手册 I
4-50
●更换碗型密封圈
1） 拆下气缸。
2） 拆下内六角螺栓(M8×20)。
3） 拆下碗型密封圈压板，更换新的碗型密封圈。
请注意碗型密封圈的方向。要套进连杆。
4） 更换后，以 12.0N・m 的力拧紧内六角螺栓(M8×20)关闭。
※盖（罩）的安装，请按照密封圈的更换顺序进行操作。在更换其它消耗零件时，请不要关闭盖（罩），
参照各部位的更换步骤操作。
碗型密封圈压板
内六角螺栓(M8×20)
碗型密封圈
操作手册 I
4-51
真空泵分解图
No.
名称
No.
名称
1 内六角螺栓（M6×95）8 根 10 气缸密封圈
2 泵头盖 1 11 气缸
3 连接管 12 内六角螺栓（M8×20）
4 Ｏ环 P-10 13 碗型密封圈压板
5 泵头盖 2 14 碗型密封圈
6 密封圈 15 连杆
7 阀挡板
8 吸排气阀
9 气缸板
操作手册 I
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4-8 管道系统图
(1) 管道系統图（主机）
a-
（正气压）
插头φ12
节流器
VCS
节流器
切带器
插头φ8
节流器
节流器
节流器
节流器
节流器
弯管接头12
直通接头
Head电磁阀
Rear
节流器
ATC
Rear
节流器
ATC
Front
台架上升气缸
Front（OP）
Y型三通接头
MTS
旋转焊锡转印
装置
供气
插头
节流器
传送
Front
多支管
插头φ8
指状阀
切带器
空气（P）传感器
电缆（组）
直接连接
旋转焊锡转印装置
Front
VCS
直通接头
Head电磁阀
Front
电磁阀
（上部护罩）
护罩锁定气缸
（上部护罩）
插头φ8
气源处理联件
弯管接头12
护罩锁定气缸
（上部护罩）
插头φ8
节流器
台架上升气缸
Rear（OP）
节流器
电磁阀
（上部护罩）
节流器
前侧
后侧